>
На рис. 4 представлений невеликий скляний насос, що складається з гарячого катода, сітчастого анода і колектора, утвореного шаром титану на стінках балона. Електрони з катода, проскакуючи через отвори сітчастого анода, іонізують газ. Утворилися позитивні іони під дією електричного поля рухаються до колектора, що має негативний потенціал, і впроваджуються в його поверхню. При досить інтенсивному бомбардуванню анода електронами, еміттіруемимі з катода, температура анода підвищується, титан з його поверхні сублімується і, осідаючи на стінках (на колекторі), В«замуровуєВ» впроваджуються в неї гази. Стінки балона охолоджуються водою. br/>
Рис. 4 Іонно-сублімаційний насос. (А-схема, б-залежність швидкості відкачки від тиску для деяких газів). З-колектор; А-анод, покритий титаном; К-катод. br/>
Іонно-сублімаційний насос з випарником титану
На рис. 5 представлена ​​схема невеликого скляного іонно-сублимационного насоса, що складається з випарника титану (титанова проволока, намотана на вольфрамовий стрижень), робітника (К ') і запасного (К ") катодів і колектора С. Титан, випаровування (сублімований) шляхом нагрівання вольфрамового стрижня , осідає на стінках балона і відкачує активні гази. Електронний струм (~ 1 мА), поточний від катода К 'до випарника Тi (яке має потенціал +170 В відносно катода), іонізує гази, а що утворилися іони, прискорювані електричним полем, впроваджуються в шар титану на стінках, де вони, крім того, можуть бути замуровані безперервно осідають титаном. Колектор (з потенціалом -30 У відносно катода) можна використовувати для вимірювання іонного струму (чутливість його ~ 10-3 А Тор-1). Напруга на виходах вольфрамового стрижня випарника становить кілька вольт. Швидкість відкачування (при одночасній іонізації) різних газів цим насосом наступна: для азоту 8 л с-1, гелію 1,2 л с-1, аргону 0,5 л з-1; без іонізації швидкість відкачування для азоту становить 4 л з-1.
Рис. 5. Слабкий іонно-сублімаційний насос (скляний). К 'і К''-катоди; С-колектор; А (Т1) - покритий титаном анод. br/>
Електростатичний іонно-сублімаційний насос
Принцип дії і конструкція електростатичного (з радіальним електростатичним полем) іонно-сублимационного насоса ясні з рис. 6
Насос складається з колектора у вигляді труби С, стрижневого титанового анода з позитивним потенціалом порядку декількох тисяч вольт і вольфрамового катода К з потенціалом, близьким до потенціалу циліндричного колектора. Вольфрамовий катод встановлений і заекранірован таким чином і має такий потенціал, що випускаються їм електрон...
