й складає не менше 1 мкм. За допомогою оптичних приладів можливе виявлення кута нахилу поверхні рівного 15 про . У свою чергу лазерну конфокальную мікроскопію слід розглядати як іншу оптичну техніку, в основі якої лежать принципи фокусування випромінювання в області невеликого розміру, а також реєстрації відбитого і розсіяного випромінювання від цієї області. За допомогою сканування певної плоскій поверхні виходить зображення відбитого світла від даної площини, а при скануванні обсягу будується розподіл відбиття від ділянки зразка в просторі. При використанні конфокального мікроскопа можна проводити дослідження крутих ділянок поверхні з кутом нахилу, що доходить до 75 про . У самого конфокального мікроскопа просторове дозвіл (аксіальне і латеральне) обмежено рівнем 0,2-0,3 мкм.
Для реалізації швидкісного високочастотного циклічного вимірювання або для безконтактного виміру плоских поверхонь в реальному часі необхідно поєднувати оптичну мікроскопію і інтерферометрію, також звану інтерференційної мікроскопією. При вимірі поверхонь, середня шорсткість яких досягає 0,1 нм при висотах до декількох міліметрів, необхідно високу аксіальне дозвіл і великий діапазон вимірювань висот. Досягти субнанометрового дозволу дозволяє використання інтерферометричних методів. Латеральна роздільна здатність оптичного мікроскопа складає близько 400 нанометрів зважаючи обмеження дифракційною межею. При використанні інтерферометрії неможливо виявити нахил поверхні, що перевищує значення 30 про . Методами інтерферометрії можна отримати тільки 3D профілі одношарових зразків, а в даний час досить багато розробок багатошарових БФП. Дисперсія матеріалу, з якого складається плівка, а також відображення світла від межі розділу середовищ сильно впливають на точність, якщо вимірюється товщина шару. З огляду на те, що бокова поверхня мікроканалу відображає світловий потік вкрай малої інтенсивності, інтерферометр не може її зареєструвати.
Завдяки методам СЗМ, а також АСМ, є можливість проводити вимірювання з високою просторовою роздільною здатністю. Для використання СЗМ потрібна мінімальна підготовка зразків. Метод дозволяє проводити вимірювання на площі до 100 мкм 2 при локальних змінах висоти до 10 мкм з горизонтальним дозволом від 2 до 10 нм, а з вертикальним порядку 0,1 нм. Для цього в комерційних цілях створені кремнієві зонди з радіусом кривизни до 10 нм, а однією з останніх розробок є зонди з вуглецевими нанотрубками діаметром близько 0,5 нм. Мінусом використання таких зондів, що призводять до помилок вимірювання, пов'язаним з розмірами зонда, є його механічний контакт з поверхнею. Тому точне вимірювання бічній поверхні каналу практично не здійсненно, зокрема при вертика...
