1/оС. aR = 10-4 1/оС.
або 1,8%.
Похибка gRст обумовлена ​​старінням плівки, повільним зміною структури плівки в часі і її окисленням. Вона залежить від матеріалу плівки та ефективності захисту, а також від умов зберігання і експлуатації. Для ГІС зазвичай gRст = 3%. p> Похибка перехідних опорів контактів gRк залежить від технологічних умов напилення плівок, питомого опору резистивної плівки. gRк = 2%.
Визначимо конструкцію резисторів за значенням коефіцієнта форми:
, (19)
.
При такому значенні коефіцієнта форми рекомендується виконувати резистор прямокутної форми.
Знаходимо ширину резистора:
, (20)
де bтехн - мінімальна ширина резистора, обумовлена ​​можливостями технологічного процесу. bтехн = 5 мкм; точн - ширина резистора, обумовлена ​​точністю виготовлення; р - мінімальна ширина резистора, при якій забезпечується задана потужність. br/>
, (21)
де Db, Dl - похибки виготовлення ширини і довжини резистора, що залежать від методу виготовлення. (Db = lD = 0.05 Вё 0.1). br/>В
мкм.
, (22)
мкм.
Т.ч. отримуємо, що розрахункова ширина резистора b = 226 мкм.
Тепер знайдемо розрахункову довжину резистора:
, (23)
мкм.
За довжину резистора l приймаємо найближче до lрасч значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу. Одержуємо: l = 220 мкм, b = 220 мкм. p> Площа, яку займає резистором на підкладці, буде дорівнює:
мкм2 або 0,0484 мм2. br/>
Знаючи l, b, Db, Dl, можна знайти gКф:
.
Отже, повна відносна похибка буде дорівнювати:
.
Далі проведемо розрахунок для резистора R2 = 13 кОм. p> Значення grs, gRt, gRст, gRк будуть рівні вище обчислених. Знайдемо значення коефіцієнта форми:
.
При такому значенні коефіцієнта форми рекомендується виконувати резистор прямокутної форми, у якого довжина більше ширини.
Знаходимо ширину резистора:
мкм.
.
мкм.
мкм.
Т.ч. отримуємо, що розрахункова ширина резистора b = 139 мкм. Тепер знайдемо розрахункову довжину резистора:
мкм.
Враховуючи крок координатної сітки отримуємо: b = 140 мкм., l = 360 мкм. Площа, яку займає резистором на підкладці, буде дорівнює:
мкм2 або 0,0504 мм2.
Знайдемо похибка коефіцієнта форми:
.
Повна відносна похибка буде дорівнювати:
.
Таблиця 5 - Результати розрахунків резисторів.
ВеличинаОбозначениеЗначениеR1 = 4,9 кОмR2 = 13 кОмУдельное поверхневий опір, Ом/ Г° r S50 Вё ...
