яні, астеклянние шайби виконані з отворами і з'єднані з мембранами з боку, протилежного обкладкам конденсатора, а вакуумна камера утворена герметичним з'єднанням мембранної збірки з металевим корпусом, причому електроди виведені назовні металевого корпусу за допомогою контактних майданчиків, мікродротів і гермопереходніков, коли мікродроту з одного боку прикріплені до контактних площадок, а з іншого боку прикріплені до гермопереходнікам, герметично сполученим з металевою шайбою, котораяпріварена до металевого корпусу, а обсяг вакуумної камери в кілька разів перевищує обсяг мембранної збірки.
Принцип роботи перетворювача полягає в наступному. Вимірюваний тиск, впливаючи на мембрани через отвори в скляних шайбах, змінює значенні ємності, утвореної мембранами. Наявність конструкції, при якій герметизація і вакуумне стан забезпечені герметичним з'єднанням мембранної збірки з металевим корпусом і гермопереходнікамі, з'єднаними з металевою шайбою, яка приварена до металевого корпусу, дозволяє підвищити надійність перетворювача, стабільність параметрів і чутливість за рахунок довгострокового підтримки високого ступеня вакууму у вакуумній камері . А обсяг вакуумної камери, утвореної герметичним з'єднанням мембранної збірки з металевим корпусом, в кілька разів перевищує обсяг мембранної збірки, що також позитивно відбивається на тимчасовій стабільності герметичного з'єднання. br/>В
Рис. 2.5
2. ВИБІР ПЕРЕТВОРЮВАЧА
На підставі проведеного огляду вимірювальних перетворювачів виміру тиску, було визначено, що найбільш підходящим є п'єзометричний перетворювач. Так як даний тип перетворювача володіє наступними перевагами: малі габарити, простота конструкції, надійність в роботі, змогу вимірювання швидкозмінних величин, широкий спектр частот вимірюваних прискорень, мала чутливість до магнітних полів, достатня ударна міцність, відносно невелика температурна похибка (наприклад, для ІП з кварцу похибка перетворення складає 10-4 - 10-6.).
Наступним вимірювальним перетворювачем, розглянутим в огляді, є пьезорезонансний перетворювач, який, як і всі має ряд переваг і недоліків.
До недоліків слід віднести: індивідуальну характеристику перетворення тиску, значний час відгуку. Так само до недоліків слід віднести не спроможність проводити вимірювання в агресивних середовищах без втрати точності показань приладу. p align="justify"> Достоїнствами пьезорезонансних датчиків є висока точність і стабільність характеристик, яка залежить від якості використовуваного матеріалу.
Далее в огляді було розглянуто тензорезистивного перетворювач.
До недоліків таких перетворювачів можна віднести: низьку чутливість (в межах 1%); значні гістерезисні явища і нестабільність (через неоднорідність конструкції і "втоми" металу мембрани); сильний вплив температу...
