друге тиск р2 є тими двома тисками, перепад яких повинен бути виміряний. Наявний між першим тиском p1 і другим тиском р2 перепад
= p1-р2
викликає залежне від вимірюваного перепаду тисків або від вимірюваного відносного тиску відхилення вимірювальної мембрани 21, яка реєструється за допомогою розташованих на вимірювальній мембрані 21 елементів 23 датчика, наприклад, пьезорезісторов, та перетворюється на електричний вихідний сигнал. Потім через приєднані до елементів 23 датчика з'єднувальні дроти 25 вихідний сигнал передається для подальшої обробки та/або оцінки. br/>
.5 Ємнісної перетворювач тиску
Ємнісні перетворювачі використовують метод зміни ємності конденсатора при зміні відстані між обкладинками. Відомі керамічні або кремнієві ємнісні первинні перетворювачі тиску та перетворювачі, виконані з використанням пружної металевої мембрани. При зміні тиску мембрана з електродом деформується і відбувається зміна ємності. p align="justify"> В елементі з кераміки або кремнію, простір між обкладинками зазвичай заповнено маслом або іншого органічного рідиною.
Ємнісної перетворювач тиску містить. На рис. 2.5 зображений перетворювач, що містить підкладку (1) з розміщеними на ній контактної майданчиком (4) і обкладинками конденсатора, що складаються з електрода (2) і ізолюючого шару (3), а також мембранну збірку (5) і вакуумну камеру (6). Ізолюючий шар розташований під електродом, а мембранна збірка складається з двох з'єднаних кремнієвих мембран (7) з нанесеними на них обкладинками конденсатора і скляними шайбами ​​(8). Мембрани з'єднані один з одним і вирівняні, щоб полегшити доступ до контактних площадок, а скляні шайби з'єднані з мембранами з боку, протилежного обкладкам конденсатора, і мають отвори (9) для забезпечення впливу тиску на мембрани. Вакуумна камера утворена герметичним з'єднанням мембранної збірки з металевим корпусом (10) на кордоні з'єднання (15). Електроди виведені назовні металевого корпусу за допомогою контактних майданчиків, мікродротів (11) і гермопереходніков (12), коли мікродроту з одного боку приварені до контактних площадок, а з іншого боку приварені до гермопереходнікам, герметично сполученим з металевою шайбою (13) на кордоні з'єднання ( 17). Металева шайба приварена до металевого корпусу по межі з'єднання (16), а обсяг вакуумної камери в кілька разів перевищує обсяг мембранної збірки (14). p align="justify"> У ємнісному перетворювачі тиску, що містить підкладку з розміщеними на ній контактної майданчиком і обкладинками конденсатора, що складаються з електрода і ізолюючого шару, а також мембранну збірку і вакуумну камеру, ізолюючий шар розташований під електродом, а мембранна збірка складається з двох з'єднаних кремнієвих мембран з нанесеними на них обкладинками конденсатора і скляними шайбами, причому мембрани з'єднані один з одним і вирівн...
