фігури травлення, конфігурація яких визначається її кристаллографической орієнтацією. На поверхні (111) фігури травлення мають форму тригранних пірамід, а на (100) - чотиригранних. При оснащенні такій поверхні паралельним пучком світла відбиваються промені будуть утворювати на екрані світлові фігури.
Залежно від того, наскільки сильно відхилена площину торцевого зрізу монокристала від площини (hkl), світлова фігура, утворена відбитим пучком світла, буде знаходитися ближче або далі від центру екрана. За величиною відхилення світловий фігури від нульового розподілу екрану визначають кут відхилення, а площини торця монокристала від площини (hkl). Потім, повертаючи монокристал на 90 °, визначають інший кут Р; після виконання орієнтації монокристала на його торці твердосплавним різцем наносять стрілку, напрямок якої вказує, в який бік від торця монокристала відхилена необхідна площину. Точність орієнтації монокристалів напівпровідників рентгенівським методом ± (2.6) «, а оптичним ± (15.30)».
2.3 Різка
Кремній - твердий і крихкий матеріал. Ці властивості кремнію визначають способи його механічної обробки та вибір абразивних матеріалів. Необхідно враховувати, що злитки кремнію мають великий діаметр (більше 80 мм з тенденцією зростання до 100.110 мм).
У таблиці 2 наведено порівняльну характеристику різних абразивних і напівпровідникових матеріалів за їх твердості.
Таблиця 2 - Порівняльна характеристика абразивних матеріалів
Найменування матеріалаМікротвердость 10 Н / м 2 Твердість за шкалою Мооса Алмаз1010Карбід бора4, 910Карбід кремния3,59,5Электрокорунд1,49,2Кремний1,07Германий0,86Арсенид галлія0, 74,5
Алмаз - найтвердіший матеріал. При обробці кремнію використовуються як природні, так і синтетичні алмази, поступаються першим за механічними властивостями. Іноді застосовують карбіди бору В 4 С і кремнію SiC, а також електрокорунд Al 2 O 3. В даний час при різанні злитків кремнію на пластини в якості ріжучого інструменту застосовують металеві диски з внутрішньої алмазної ріжучої кромкою.
Інструмент являє собою металевий диск з центральним отвором, на кромку якого нанесена алмазна крихта. Товщина диска 0,1-0,15 мм, а діаметр отвору обумовлений діаметром розрізається злитка. Схема установки для різання злитків представлена ??на малюнку 4.
Малюнок 4 - Металевий диск з внутрішньої алмазної ріжучої кромкою: 1 - металевий диск; 2 - алмазна крихта
Ріжучий інструмент (диск) розтягується і закріплюється в спеціальному барабані на голівці шпинделя верстата для різання. Злиток розрізається диском з алмазною крайкою при обертанні шпинделя (3000 - 5000 об / хв.). Швидкість руху злитка при його переміщенні перпендикулярно осі ріжучого диска становить 40 - 50 мм / хв. (Для злитків діаметром 60 мм не більше 20 - 30 мм / хв.). Після відрізання черговий пластини за допомогою автоматичної системи відбувається повернення злитка у вихідне положення, а також, переміщення його на заданий крок. Пристрій для закріплення злитка дозволяє повертати злиток в горизонтальній і вертикальній площинах на необхідні кути по відношенню до площини обертання алмазного диска і тим самим забезпечує орієнтовану різання. Верстат забезпечений системою подачі води для охолодження ріжучого...
