Однак площа випарників речовин у багато разів менше площі подложкодержателей. В результаті добитися рівномірності потоку неможливо. Як видно з рис. а, швидкість "несення плівки буде неоднакова в точці О і в точках А і В: чим далі від осі О8 ці точки, тим нижче швидкість нанесення плівки і тим менше її товщина за даний час нанесення. При плоскому підкладки-пержателе нерівномірність товщини плівки становить 20%. Найбільш простим способом зниження нерівномірності розподілу плівки по товщині є збільшення відстані о! (Див. рис.7, а). Однак це зменшує швидкість конденсації плівки і коефіцієнт використання речовини. Тому на практиці застосовують більш складні способи, одним з яких є додання подложкодержателю сферичної форми (рис.7, 6). Нерівномірність товщини плівки при цьому знижується до 10%. Якщо цього недостатньо, використовують систему з подвійним обертанням, так звану планетарну карусель (рис.7, в), що складається з приводний обертається осі 9, на якій встановлені три подложкодержателя 7. Кожен подложкодержатель може обертатися навколо власної осі 8 при обкатуванні по кільцю 6. br/>
Метод лазерного випаровування
В
Рис. 8. Лазерний випарник
У методі лазерного випаровування речовина нагрівається при помощц фокусированного випромінювання лазера, що знаходиться поза вакуумної камери. Нанесення плівок за допомогою лазерів можливо завдяки наступним властивостям променя: точної фокусуванні світлового плями з допомогою нескладних оптичних систем (рис.8), високої щільності енергії в промені (10 8 -10 10 Дж/см 2 ), достатньої для випаровування будь-якого непрозорого матеріалу, точної дозуванні енергії випромінювання. Велике достоїнство цього способу полягає в тому, що при випаровуванні за допомогою лазерного випромінювання може бути розігрітий тільки невелику ділянку испаряемого речовини, що дозволяє виключити забруднення, що вносяться газовідділення з розігрітих частин звичайних випарних систем.
Методи контролю тонкоплівкових елементів.
Методи контролю тонкоплівкових елементів доцільно розділити на дві групи методи контролю електричних характеристик напилюваних елементів і методи контролю основних фізичних характеристик, які аналітично пов'язані з електричними характеристиками напилюваних плівок
Резистивний метод.
Електричний опір плівок вимірюють резистивним датчиком із зовнішнім вимірювальним приладом (рис) Цей метод заснований на тому, що в міру потовщення плівки в процесі росту опір її зменшується. Це дозволяє безпосередньо при нанесенні контролювати опір плівки, а при досягненні номінальної її товщини припинити процес
При вимірах (ри...
