с) попередньо виготовляють спеціальну контрольну підкладку (свідок) 1 з ізоляційного матеріалу (скла, ситалла), на яку наносять плоскі контактні площадки 2 з срібла або іншого матеріалу високої провідності. Потім цю підкладку - "свідок" встановлюють у робочу камеру якнайближче до робочої підкладці 3 Це необхідно для того, щоб обидві підкладки при нанесенні плівки знаходились в однакових умовах резистивної плівки наносять на контрольну і робочу підкладки одночасно
Контрольну підкладку встановлюють у подложкодержатель поруч з робочою підкладкою Опір контрольної підкладки в процесі напилювання R до реєструється за допомогою зовнішнього приладу - мостовий схеми При досягненні певного опору R до ланцюг зворотного зв'язку забезпечує припинення процесу напилення. Перебудову системи на заданий R до виробляють змінним резистором ПЗ (див рис)
Вимірювання опору контрольної підкладки визначає пропорційно величину опору квадрата конденсованої плівки (резистивної) згідно з формулою:
Ом,
Наближено коефіцієнт використання речовини можна обчислити таким чином. Спочатку визначають масу речовини, що завантажується на випарник (Мв) Потім, після напилення, визначають масу речовини плівки на підкладці (Мп) Для цього вимірюють товщину плівки dп (м) і обчислюють площу плівки SП (м2)
Масу речовини плівки визначають за формулою:
Мп =? 'Sn' d n
де р - щільність речовини, кг/м 3
Коефіцієнт використання речовини визначають за формулою
В
Переваги і недоліки термічного випаровування
Зазначимо переваги і недоліки методу термічного випаровування в порівнянні з іншими методами нанесення плівок.
Достоїнствами методу термічного випаровування є:
1) висока швидкість випаровування речовин і можливість регулювання її в широких межах за рахунок зміни підводиться до випарника потужності;
) висока продуктивність при груповій завантаженні і обробці підкладок;
) можливість одночасно з осадженням плівки отримувати необхідну конфігурацію тонкоплівкових елементів пасивної частини ІС за рахунок використання металевих ("вільних") масок;
) можливість вести процес як у високому вакуумі, так і в окислювальному і відновної середовищі розрідженого газу.
Недоліками методу термічного випаровування є:
1) невисока відтворюваність властивостей плівок;
) труднощі випаровування тугоплавких матеріалів та матері...
