випаровування і складу отриманої плівки nNaF=1,29? 1,31, nAlF3=1,385. Значення показника заломлення плівок кріоліту nNa3AlF6=1,28? 1,36. Середньою величиною вважається n=1,35. Плівки поглинають пари води в процесі і після випаровування, що накладає додаткові вимоги до умов експлуатації покриттів.
Плівки AlF3 наносяться сублімацією при 1100 ° С з молібденових тиглів. Вони прозорі в області 0,195? 10 мкм; показник заломлення у вакуумі дорівнює 1,23, на повітрі - 1,38. Така велика різниця пояснюється малою щільністю плівки по відношенню до об'ємного кристалу. MgF2 легко випаровується з танталових або вольфрамових човників, а також за допомогою електронного променя. Плівки MgF2 використовуються в діапазоні довжин хвиль 0,115?
мкм. Вище цього значення в четвертьволновой плівці з'являються тріщини через високі внутрішніх механічних напруг. Крім того, в плівках мікронною товщини поглинання відсутній тільки до? =4 мкм, вище якої відчутне поглинання дають структурні дефекти плівки. У більш тонких плівках верхня гранична довжина хвилі високого ступеня пропускання може досягати 10 мкм. Показник заломлення плівок з фториду магнію, через високу пористості, у видимій області залежить від температури підкладки та кількості поглиненої вологи. Збільшення температури підкладки збільшує показник заломлення і посилює залежність від інших технологічних параметрів - таких, як тиск пари. Плівки MgF2 завжди мають полікристалічну структуру, хоча в тонких плівках і плівках, осаджених на холодні підкладки, величина зерна значно менше, ніж в товстих плівках або плівках, осаджених на нагріті підкладки. При товщинах більше 100 нм плівки стають оптично неоднорідними. У плівках MgF2 виявлені дуже високі розтягують напруги (300? 500 МПа при товщині 100 нм). Механічні та хімічні властивості плівок в основному залежать від щільності. Плівки з високою щільністю, отримані при температурі підкладки 300 ° С або шляхом відпалу після осадження, дуже стабільні, тверді і мають гарну адгезію.
Плівки ThF4 частіше використовуються в діелектричних дзеркалах, особливо в лазерній техніці. Для випаровування ThF4 використовуються човники з танталу. Отримувані плівки прозорі в діапазоні довжин хвиль 0,2? 15 мкм. Показник заломлення при? =550 нм дорівнює 1,52. Плівки дуже стабільні механічно і хімічно стійкі. Щільність плівок залежить від умов їх приготування. У плівках ThF4 спостерігаються розтягують напруги ~ 110? 150 МПа, які при витримці на повітрі помітно зменшуються. Товсті плівки ThF4 не розтріскуються і не відшаровуються, що робить їх цілком придатними для використання в інфрачервоному діапазоні. ThF4 - радіоактивний. Необхідно дотримуватися всі запобіжні заходи, передбачені при роботі з радіоактивними матеріалами, відповідно до наявних правилами.
Крім розглянутих матеріалів, в інтерференційної оптиці застосовують і інші фториди - такі, як CeF3, LiF, BaF2, PbF2. Переваги і недоліки описаних вище фторидів наведені в таблиці 2.2.
Сульфіди і селеніди. ZnS застосовується в оптичних покриттях для видимої і ІК- областей спектру. Плівки ZnS часто використовуються в комбінації з плівками фторидів типу Na3AlF6, MgF2, ThF4, що володіють низькими показниками заломлення. Також ZnS дуже добре поєднується з напівпровідниковими матеріалами (наприклад з PbTe, Ge), так як утворює товсті плівки, які не розтріскуються і не відшаровуються при роботі в ІК-діапазоні. Смуга пропускання таких покриттів перекриває видимий і ІК - 60 діапазон аж до 14 мкм.
Показник заломлення у видимій області змінюється від 2,6 до 2,3, виявляючи поблизу краю поглинання сильну дисперсію. В ІЧ-області показник заломлення ~ 2,3. В УФ-діапазоні плівки ZnS повністю поглинають. Плівки володіють високою відносною щільністю. Стабільність плівок ZnS сильно залежить від чистоти і способу попередньої обробки підкладки. ZnS випаровується при температурі 1200 ° С. При нагріванні ZnS дисоціює на Zn і S. При конденсації Zn і S знову асоціюють в ZnS. Цим пояснюється сильну залежність коефіцієнта конденсації від температури підкладки навіть в області 20? 300 ° С. ZnS випаровують з молібденових і вольфрамових лодочек.во чому аналогічний ZnS. Плівки ZnSe використовують у виробництві лазерних дзеркал. Недоліком цих плівок є наявність поглинання в короткохвильовій частині видимого діапазону (до 0,46 мкм), а перевагою - високий показник заломлення (n=2,65 при?=550 нм). Sb2S3 має високий показник заломлення в червоній частині видимого діапазону. У більш короткохвильовій області він сильно поглинає. Показник заломлення Sb2S3 2,35 при? =600 нм. Переваги і недоліки наведені в таблиці 1.2.
Оксиди володіють високою механічною міцністю і хімічною стабільністю. Показники заломлення оксидів перекривають широкий діапазон. Для покриттів з низьким показником заломлення використовують плівк...
