ідності питомої поверхневого опору значенню, вказаному в КД
Примітка: заміри виробляти до термостабілізації і після термостабілізації плівок
Помістити підкладку на столик стереоскопічного мікроскопа. Контролю піддавати 100% мікроплат при збільшенні не менше 16х
Провести контроль якості резистивного шару. Шари, отримані вакуумним напиленням, повинні бути однорідного кольору, без подряпин, здуття відслонень, пір, забруднень і тріщин
Допускаються: разнотонность напилених шарів, лінії, зумовлені слідами обробки підкладок, які не є подряпинами напилених шарів, що зникають при зміні напрямку освітленості
Розсортувати виміряні підкладки за питомою опору, встановити в касету і помістити в ексикатор
Вимкнути прилад
16. Передати підкладки на наступну операцію, заповнити технологічний паспорт.
Висновки
Ознайомилися зі структурою підприємства та тематикою розробок. Розглянули особливості організації розробок виробів і технологічної підготовки підприємства.
Ознайомилися з нормативно-технічною документацією: В«Типові технологічні процеси мікроскладення плат тонкоплівковихВ» ОСТЧ ГО. 054.238, В«Технологія збірок микросборок загальні вимогиВ» ОСТ 107.460091.004-88, В«Технічний опис та інструкція з експлуатації установки УВН-75П-1 В». p> Ознайомилися з роботою відділу мікроелектроніки: визначити основні напрямки діяльності підрозділу, ознайомитися з технічної та науковою базою відділу.
Зробили літературний огляд на тему В«Тонкоплівкова технологія виготовлення ІС В».
Зробили детальне вивчення установки вакуумного напилення УВН-75П-1. Ознайомитися з можливостями та особливостями даної установки.
Вивчили технологічний маршрут напилення тонких плівок на установці УВН-75П-1.
Зробили контроль тонкої резистивної плівки на установці ІПС-3. br/>
Список літератури
1. Мінайчев В.Є. Нанесення плівок у вакуумі. - М.: Вища школа. 1989. - 156 с. p> 2. Степаненко І.П. Основи мікроелектроніки. - М.: Лабораторія базових знань. 2004. - 488 с. p> 3. Вакуумна техніка: Довідник/Є.С. Фролов та ін - М.: Машинобудування. 1992. - 62-65 с. p> 4. Розанов Л.І. Вакуумна техніка. - М.: Вища школа. 1990. - 239 с. p> 5. Курносов А.І., Юдін В.В. Технологія виробництва полупроволнікових приладів. - М.: Вища школа. 1974. - 400 с. p> 6. Метод термічного випаровування у вакуумі [Електронний джерело]. - Http:// vak.htm
7. ОСТЧ ГО. 054.238 Типові технологічні процеси мікроскладення плат тонкоплівкових
8. ОСТ 107.460091.004-88 Технологія збірок микросборок загальні вимоги
9. Технічний опис та інструкція з експлуатації установки УВН-75П-1
