лівок КСТ-1 поз 1, приладу КС-2 поз. 2, генератора поз.З,
4.7 Напилювання шарів хрому, міді на лицьову і зворотну сторони основи
1. Включити установку згідно інструкції експлуатації
2. Развакууміровать камеру
3. Завантажити випарники навішеннями напилюваних матеріалів. p> Хром - 0,5 м. Допускається сплав МТЛ-30 - 0,5 м. Мідь - 8,0 м. (у два випарника по 4,0 р.)
4. Встановити В«свідокВ» і перевірити опір у ланцюга В«свідкаВ»
5. Перевірити роботу заслінок
6. Закріпити підкладки в подложкодержателях лицьовій стороною до верху і встановити їх на карусель установки
Створити вакуум в робочій камері (залишковий тиск НЕ більш 5х10-5)
Включити привід обертання каруселі (швидкість обертання - 15 об/хв)
Прогріти підкладки і витримати при заданій температурі.
Температура 300 Вє В± 10 Вє С, витримати 15 В± 5 хвилин
10. Подати струм на перший випарник міді і прогріти наважку до її повного розплавлення. Ток - 300-400 А (при закритій заслінці)
Повторити перехід 10 для другого випарника міді
Подати струм на випарник хрому і прогріти наважку.
Ток - 300-400 А, час прогріву 8-10 секунд (при закритій заслінці)
13. Відкрити заслінку і справити напилення плівки хрому. p> Ток - 300 - 400 А, питомий опір контрольного зразка Ом/в–Ў В«свідкаВ» задається технологом після пробного циклу напилення
Закрити заслінку і припинити подачу струму на випарник
Подати струм на перший випарник міді. Струм - 300 - 480 А
Відкрити заслінку і справити напилення міді до повного випаровування навішування. Момент повного випаровування фіксується по різкого падіння струму.
Примітка. Інтервал часу між напиленнями хрому і міді не повинен перевищувати 1 - 1,5 хвилини
Закрити заслінку і припинити подачу струму на перший випарник міді
Повторити переходи 15-17 для другого випарника міді
Припинити подачу струму на нагрівач підкладок і охолодити підкладки до температури 80 Вє В± 5 Вє С
Вимкнути привід обертання каруселі
Развакууміровать камеру каруселі
Завантажити випарники навішеннями для напилення зворотних сторін
Хром - 0,5 м., міді - 18,0 р. (у два випарника по 9,0 р.)
За допомогою спеціального механізму перевернути підкладки в подлоржкодержателях
Створити вакуум в робочій камері
Залишковий тиск не більше 5х10-5 мм рт. ст.
Вимкнути привід обертання каруселі
Швидкість обертання 15 об/хв
27. Прогріти підкладки і витримати при заданій температурі
Температура - 250 Вє В± 10 Вє С, час витримки - 10 хв В± 1хв
28. Повторити переходи 10-21. У разі відсутності металізації на зворотному боці підкладки переходи 22-27 не виконуються
Зняти підкладки пінцетом з подложкодержателей і помістити їх у ексикатор з силікагелем. Зберігати не більше трьох діб з моменту напилення
Провести візуальний контроль напилених шарів. На поверхні підкладок не повинно бути здуття, відшарувань, забруднень, виплесків міді. Контролю піддавати 100% мікроплат при збільшення не менее16х
Плати з напиленими шарами передати на подальшу операцію
4.8 Вимірювання питомої поверхневого опору суцільних резистивних шарів
Вимірювання проводиться за допомогою цифрового приладу вимірювання питомого поверхневого опору напівпровідникових матеріалів ІПС-3 Дем 2.600.002, мікроскопа стероскопіческого типу МБС-9 ТУЗ-3.1210-78. Використовується також спирт етиловий ректифікований технічний ГОСТ 18300-87; батист бавовняний ГОСТ 8474-80, силікагель технічний ГОСТ 3956-76
Вимірювання питомого поверхневого опору суцільних резистивних шарів проводиться наступним чином:
Протерти столик приладу, що контактує голівку, пінцет, напальчникі батистом змоченим спиртом
Включити тумблер В«мережаВ» і забезпечити прогрів приладу в протягом 5 хвилин
Відкинути кожух на контактує пристрої приладу
Витягти підкладки з касети і помістити їх на столик контактує пристрої
Запам рукоятку в положення В«встановВ»
Поєднати чотири отвори прицілу з місцем вимірювання на підкладці шляхом переміщення столика. Відстань від зондів до краю підкладки має бути не менше 5мм
Привести рукоятку в положення В«вимірВ»
Знайти діапазон виміру, на якому свідчення індикаторної лампи старшого розряду відмінні від нуля і не гасне індикаторна лампа молодшого розряду. Проводити за допомогою перемикання піддіапазонів
Записати усталене показання приладу в робочому журналі
Перевести рукоятку в положення В«встановВ»
Замірити питомий поверхневий опір в одній точці в центрі на 100% підкладок і в п'яти точках (по кутах і в центрі) на одній підкладці з партії. На звороті підкладки записати олівцем результати вимірювань. Підкладку слід вважати забракованої при невідпов...
