верхні. Якщо взаємодіє з поверхнею атом має масу меншу атома підкладки, то акомодація завжди неповна (ат <1). p>. Поверхнева дифузія. Залежно від умов формування покриттів, адсорбований атом у процесі дифузії може або закріпитися на зародку конденсованої фази (стійкої металевої частці), або ж через деякий час? А, зване часом життя в адсорбованому стані, перейти в газову фазу (у десорбувати стан). Поверхнева дифузія характеризується довжиною дифузійного пробігу, яка дорівнює відстані, яку проходить атомом на поверхні за час його життя в адсорбованому стані? A (a - відстань між сусідніми адсорбційними вузлами поверхні; D - коефіцієнт поверхневої дифузії; Еa і Еd - енергія активації процесів адсорбції та поверхневої дифузії відповідно; k - постійна Больцмана).
Освіта покриття відбувається в результаті взаємодії адсорбованих атомів між собою і з атомами підкладки. Слід розрізняти такі, що протікають послідовно стадії росту покриття:
освіта адсорбційної фази;
зародкоутворення конденсованої фази;
зростання зародків;
взаємодія зародків між собою і їх злиття (коалесценції);
освіта суцільного покриття та його подальше зростання. Кожна з цих стадій характеризується особливостями структурного стану, і кінетика їх перебігу впливає на властивості формованих покриттів. br/>
Класифікація методів нанесення вакуумних покриттів
Виділяють наступні методи:
1. Випаровування:
- резистивное;
індукційне;
електронно-променеве;
лазерне;
електродугове.
2. Іонну розпорошення (іонно-променеве).
3. Плазмове розпорошення:
катодне;
магнетронне;
високочастотне;
в несамостійному газовому розряді.
Прилади для вимірювання тисків
Прилади для вимірювання тисків у вакуумній техніці називаються вакуумметрами. Вони зазвичай складаються з 2-х частин: манометричного перетворювача (манометра) і вимірювального блоку. За методом вимірювання вакуумметри можуть бути розділені на абсолютні та відносні. p align="justify"> Показання абсолютних не залежать від роду газу і можуть бути заздалегідь розраховані. Манометри в даному випадку вимірюють тиск як силу, з якою газ впливає на одиницю площі. p align="justify"> У приладах для відносних вимірювань використовується залежність параметрів деяких фізичних процесів, що протікають у вакуумі, від тиску.
Область тисків, використовувана в сучасній вакуумній техніці, 105 .. 10-12 Па. Вимірювання тисків у такому широкому діапазоні не може бути здійснено одним приладом. Тому при роботі вакуумної системи зазвичай використо...
