вують кілька вакуумметрів. p align="justify"> За принципом дії вакуумметри поділяються на:
1. Гідростатичні (105 .. 10-1 Па) - засновані на зрівноважуванні вимірюваного тиску гідростатичним тиском стовпа рідини.
2. Деформаційні (105 .. 10-2 Па) - вимірюваний тиск визначається за деформації пружного чутливого елемента.
. Компресійні (105 .. 10-6 Па) - засновані на ізотермічному стисненні газу та вимірюванні його тиску по висоті стовпа рідини, що врівноважує цей тиск.
. Теплові (105 .. 10-1 Па (іноді до 10-5)) - засновані на залежності теплопровідності розрядженого газу від тиску.
. Іонізаційні (105 .. 10-12 Па) - в них використовується іонізація молекул, а потім - вимірювання величини:
електронні (101 .. 10-8 Па);
магнітні (102 .. 10-12 Па);
радіоізотопні (105 .. 10-1 Па (іноді до 10-5)).
Методи отримання вакууму
Методи отримання вакууму бувають:
1. Механічні:
- об'ємна відкачка - за рахунок періодичної зміни обсягу робочої камери;
молекулярна відкачка - за рахунок передачі молекулам газу кількост ества руху від твердої, рідкої або пароподібної середовища.
2. Фізико-хімічні:
- іонна відкачка;
відкачка за рахунок випаровування;
хемосорбціонних відкачка;
кріоконденсаціонная відкачка;
працездатності кріоадсорбціонних відкачка.
Принципова схема вакуумної установки
Схема вакуумної установки наведена на малюнку 1.
В
Рисунок 1 - Схема вакуумної установки
- насос попереднього розрядження; 2, 3, 6, 14, 15, 17, 18, 19 - вакуумні клапани; 4, 8, 12, 20 - манометри; 5 - маслоотражатель; 7 - насос для отримання середнього вакууму; 9 - електричний введення; 10 - введення руху; 11 - вакуумна камера, 13 - газоаналізатор; 16 - гіроскопатор
Вакуумні установки для отримання різних ступенів вакууму відрізняються лише конструкцією насоса.
2.2 Реактивний метод нанесення покриттів конденсацією з іонним бомбардуванням (метод КІБ)
У групу реактивних методів нанесення покриттів входять методи отримання покриттів з хімічних сполук, синтез яких здійснюється безпосередньо в процесі осадження. Реактивні методи нанесення покриттів характеризуються тим, що в робочу камеру напускають хімічно активний газ, п...
