gn="justify"> Інтерференція відбувається між променями світла, відбитими від верхньої та нижньої поверхонь плівки (рисунок 3.1).
Малюнок 3.1 - Інтерференція рівної товщини
У відбитому світлі інтерферують промені 1 ? і 2 ? , в прохідному світлі промені 1 ? і 2 ? . Для перших двох різниця ходу виникає при русі фронту хвилі на шляху ABC для променя 1 ? і від точки D до C для променя 2 ? .
Оптична довжина шляху дорівнює ( AB + BC ) n , де n - показник заломлення матеріалу плівки. Різниця ходу визначається з рівняння:
D= n ( AB + BC ) - CD =2nh cos r, (3.1)
D =2h (n 2 - sin 2 i) 1/2 . (3.2)
З досвіду і теорії відомо, що при відбитті світла від кордону середовища з великим показником заломлення в середу з меншим показником заломлення спостерігається додатковий зсув (стрибок) фази, рівний p , чому відповідає зміна різниці ходу променів 1 ? і 2 ? на половину довжини хвилі l /2 ; при цьому максимуми будуть спостерігатися в тому випадку, якщо різниця ходу дорівнюватиме непарному числу півхвиль:
D =2nh cos r=(2k + 1) l /2. (3.3)
У світлі, максимуми будуть спостерігатися при різниці ходу променів, рівний цілому числу хвиль:
D= 2nh cos r=k l. (3.4)
У відбитому світлі інтерференційна картина буде більш контрастною, ніж у прохідному, так як тут интерферируют промені рівної інтенсивності, а в мінімумах -повне гасіння світла. Від нижньої поверхні, як і від верхньої, відбивається однакову кількість падаючого світла 4? 8%, а проходить близько 90? 85%. Тому в прохідному світлі інтерференція відбитого і минулого променів різної інтенсивності не дає в мінімумах повного гасіння. Графіки отримані в результаті експериментального напилення тонких покриттів на установці ВУ - 1А і теоретичного розрахунку програми MultiSpectrum raquo ;.
Малюнок 3.3 - Теоретично розрахований спектр відображення одношарового покриття ZrO 2 товщиною 3?/4
Малюнок 3.4 - Теоретично розрахований спектр відображення одношарового покриття Al 2 O 3 товщиною 3? /4
Малюнок 3.5 - Експериментально отриманий спектр відображення одношарового покриття Al 2 O 3 товщиною 3? /4
Малюнок 3.6 - Теоретично розрахований спектр відображення одношарового покриття TiO 2 товщиною 3? /4
Малюнок 3.7 - Експериментально отриманий спектр відображення одношарового покриття TiO 2 товщиною 3? /4
Малюнок 3.8 - Теоретично розрахований спектр відображення одношарового покриття ZnS товщиною 3? /4
Малюнок 3.9 - Експериментально отриманий спектр відображення одношарового покриття ZnS товщиною 3? /4
Малюнок 3.10 - Експериментально розрахований спектр відображення одношарового покриття SiO 2 товщиною 3? /4
...
