а МІДІ основного матеріалу досягається при ДС за режимом. ТСВ=850oС, РСВ=7-8 МПа, Т=20 хв, V=1, ЗЗх10-2 Па, зазвічай принимаемому за оптимальними. Діфузійна зварка МІДІ знаходиься найбільш Широке и успішне! Застосування при віготовленні складових пакетованіх вузлів НВЧ-приладів: уповільнюють систем, анодних блоків и резонаторів. Заготовки пакетованіх вісокочастотніх систем сантіметрового діапазона отримуються зазвічай Вирубка з лістової МІДІ. После очищення поверхні смороду в необхідній кількості збіраються в прістосуваннях, что забезпечують їх точне взаємне Розташування, и зварюються одна з одним по оптимальному режиму при температурі 850oС. Цей режим Забезпечує необхідну точність систем аж до середньої части міліметрового діапазону. У зоне з єднання зберігається, як правило, межа розділу, но ее ширина такого ж порядку, что и звічайна межзеренное межа. У тієї ж годину ДС МІДІ при температурах вищє 800oС и Пітомих лещатах більше 5 МПа виробляти до пластічної деформації деталей порядку десятих часток - одиниць відсотків. Вісокочастотні системи міліметрового и субміліметрового діапазонів відрізняються мініатюрністю и скроню точністю. Ширина ламелей анодних блоків доходити до 0,2 мм. Ще більш Ажурні дрібноструктурні уповільнюють системи, поперечні розміри їх штірів складають десятки Мікрон. Заготовки для ціх систем отримуються прецізійної електроіскровій Обробка, фотогравірованіем або фотоосажденіем. У ціх діапазонах даже незначні деформації систем, вімірювані Одиниця Мікрон, істотно погіршують параметри приладів. Тому проблема діфузійного зварювання (ДС) з повним збереженням вихідних Розмірів деталей при задовільній міцності (пластічності) з єднань є й достатньо актуальною для Електронної промісловості. У відповідності з уявленнямі про Механізм и кінетіку процесса ДС можна віділіті следующие шляхи Підвищення прецізійніх з єднання при ДС: Підвищення класу чистоти ОБРОБКИ поверхонь; ! застосування прослоєв з пластичних матеріалів, в тому чіслі розплавляються при зварюванні, зварювання в надвісокому вакуумі. Зазначені прийому до тій чи іншій мірі полегшують и пріскорюють розвиток першій Стадії ДС: очищення поверхонь від Окісна и жирових плівок и розвиток їх фактичного контакту. Більш груба підготовка поверхонь збільшує годину протікання першій Стадії и Загальну длительность процесса зварювання и в кінцевому підсумку виробляти до більшої пластічної деформації деталей. Це наочно ілюструють кінетічні криві міцності, отрімані при зварюванні за одним режимом, альо з різною чистотою ОБРОБКИ поверхні МІДІ. Для розробки технологічного процесса, что гарантує Отримання вакуумноплотніх з єднань, Важлива візначіті моменти, в Які закінчується процес їх формирование. Вважають, что при діфузійному зварюванні процес формирование Сполука металів з металами и металів з неметалевімі матеріалами, что мают міцнісні и вакуумні Властивості, ідентічні властівостям основного матеріалу, завершень, если в результате діфузійного заліковування пір в контактній зоне стабілізується потік водних, что протікає через неї. Для експериментального дослідження кінетікі формирование з єднань Розроблення Спеціальний метод активного контролю, что Полягає в тому, что в процессе зварювання через контактну зону «продувається» потік газів Із суміші гелію и водного, контрольованій мас-спектрометром. Момент пріпінення потоку гелію через зону з єднання відповідає початкова моменту Досягнення вакуумної щільності (закриття наскрізніх каналів), а стабілізація потоку водним - моменту завершення діфузійного взаємодії та формирование з єднання, ідентічного основного металу по вакуумній щільності и термостійкості. Про співвідношення технологічних параметрів, при якіх мают місце ЦІ момент, можна судити по малюнку 10.4.Слід Зазначити, что немає єдиної думки про оптимальний режим діфузійного зварювання пар металів, найбільш Поширеними в електронній техніці, - мідь МБ + мідь МБ и мідь МБ + сталь Є.З використанн методів математичного планування експеріментів, зокрема центрального композіційного ротатабельного уніформ-планування іншого порядку, ОТРИМАНО регресійні Рівняння, что дозволяють в широкому інтервалі параметрів розраховуваті наперед завданні міцність 0, 1? [МПа] (y1) i деформацію? [%] (У2) при контрольованому Рівні вакуумної щільності: для зе єднання мідь МБ + МБ при Т=700 ... 900 oС: ЗАСТОСУВАННЯ прокладки з більш м которого матеріалу, чем ЗВАРЮВАННЯ, виробляти до локалізації в ній пластічної деформації стиснения. Фактичність контакт утворюється при цьом основном за рахунок актівної деформації и повзучості матеріалу прокладки, что Заповнює мікронерівності поверхонь, что з єднуються, что істотно зніжує мінімально необхідній рівень тиску стиснения и зміна форми деталей. При ДС вісокоточная вузлів МІДІ застосовуються проміжні прошаруй золота або срібла. Срібло и тім более золото володіють більш скроню здатністю до релаксації напруг в условиях зварювання. Гідністю ціх металів є такоже висока чистота поверхні, так як золото: пр...
