n = "justify "> 2 O, CO 2 .
Шари нікелю формувалися на свіжих відколах (001) KCl, що визначало гетеронуклеацію конденсатів в умовах Фольмера-Вебера. У разі, коли конденсати нікелю представляли собою систему розрізнених кластерів, для дослідження в ПЕМ вони зміцнювалися непористої аморфної вуглецевої плівкою. Надалі, для дослідження конденсатів за допомогою просвічує електронної мікроскопії та дифракції швидких електронів, отримані двошарові системи відділялися від підкладки за допомогою розчинення останньої у воді. Крім цього структурно-морфологічні характеристики, а також елементний склад конденсатів вивчалися за допомогою дифракції рентгенівських променів і РЕМ. br/>
2.2 Характеристика отриманих конденсатів нікелю
Була проведена серія експериментів, в яких залежно від пересичення спостерігалися якісні зміни механізмах зародження і росту конденсатів нікелю.
Формування конденсатів при різних пересиченнях досягалося за допомогою підведення до магнетрон розпилювача нікелю різних потужностей розряду ( P w = 3.4-45 Вт). Такі параметри як температура підкладки і тиск робочого газу залишалися незмінними (Т з = 620 К і Р Ar = 4.9 Па). Формування конденсатів при різних пересиченнях досягалося за рахунок зміни загрожених парових потоків, які в свою чергу формувалися за допомогою підведення до магнетрон розпилювача нікелю різних потужностей розряду ( P w = 3.4 Г· 45 Вт).
Встановлено що при використанні щодо високих потужностей розряду ( P w = 9-45 Вт), формуються непоруваті тонкі плівки, які мають ГЦК-стуктуру і добре виражену текстуру (рис 2.1).
В
Рис. 2.1. Зображення мікроструктур конденсатів нікелю. Час осадження t = 300 с, Р Ar = 4.9 Па і Т з = 620 К (a- P w ~ 45 Вт; b- P w ~ 7 Вт; з- P w ~ 3.4 Вт) (зображення отримані за допомогою ПЕМ)
При зменшенні потужності розряду до 7 Вт знижується пересичення і проявляється тенденція до локального зрост...
