За допомогою кабелів з'єднати вакуумну установку з шафою керування;
. Підключити установку В«Ораторія-5В» до трифазної чьотирьох мережі змінного струму напругою 380В частоти 50Гц;
. Приєднати установку В«Ораторія-5В» до системи витяжної вентиляції з витратою повітря не менше 1,67 * 10 -1 м 3 /с;
. Приєднати установку В«Ораторія-5В» до мережі живлення стисненим повітрям тиском від 4 * 10 5 до 5 * 10 5 Па;
. Приєднати установку В«Ораторія-5В» до водопроводу з тиском від 3 * 10 5 до 4 * 10 5 Па і температурою від +15 до +25 0 С;
. Приєднати установку В«Ораторія-5В» до балона аргону тиском від 0,5 * 10 5 до 4 * 10 5 Па;
. Здача в експлуатацію змонтованого обладнання;
. Перевірити обладнання, вироби та матеріали, необхідні для перевірки відповідності установки В«Ораторія-5В» вимогам;
. Перевірити час досягнення граничного залишкового тиску 6,65 * 10 -5 Па в робочій камері установки і виміряти залишкове тиск у робочій камері і шлюзі;
. Перевірити потужність високочастотного розряду, тиск газу в шлюзі і виміряти витрату газу;
. Провести перевірку нагріву підкладок, стабілізацію струму нагріву і виміряти температуру;
. Провести перевірку потужності магратрона, робочої напруги, стабільності струму розряду, індикацію процесу напилення та виміряти струм і напруга магратрона;
. Провести перевірку автоматичного циклу.
7. Основні несправності та методи їх усунення
Таблиця 1 - Основні несправності та методи їх усунення
Найменування неісправностіВероятная прічінаМетод устраненіяМала швидкість відкачування з шлюзаОкіслілось масло в форнасосе шлюзаЗаменіть масло в форнасосе шлюзаСамопроізвольно відкачується харчування магратронов за вакуумною блокіровкеПрі опусканні ущільнення і шлюзу тиск в камері збільшується вище 1,33 * 10 -2 Паа) перевірити скоростьоткачкі паромасляного насоса і при необхідності змінити масло в насосі; б) збільшити напругу магратрона для роботи аргонаМала температура нагріву підкладок, струм нагріву нижче ...
