0 С) під тиском 3 * 10 < span align = "justify"> 5 ... 4 * 10 5 Па витратою не менше 2,8 * 10 -4 м 3 /с;
в) рідкого азоту витратою 0,075 м 3 /зміну. ​​
Харчування установки В«Ораторія-5В» здійснюється від трифазної чьотирьох з нульовим проводом мережі змінного струму напругою 380 В, частотою 50 Гц.
.2 Основні конструктивні елементи
Вакуумна установка В«Ораторія-5В» має шлюзову і робочу камери, які розділені затвором.
Для створення в робочій камері вакууму 5 * 10 -5 Па необхідно дві години, а для напилення одного шару металу не більш двох хвилин. Тому в цій установці робоча камера знаходиться під вакуумом, а розгерметизується тільки шлюзова камера для завантаження в неї планетарного подложкодержателя з пластинами.
Установка В«Ораторія-5В» має 4 позиції:
шлюзова камера для завантаження-вивантаження пластин;
камера нагрівання;
перший магнетрон;
другий магнетрон.
Підйомна кришка робочої камери забезпечує доступ до внутрікамерним пристроїв для їх обслуговування, ремонту, обробки. Обробка пластин виробляється на планетарному подложкодержателе з двома осями обертання. p align="justify"> Вакуумна система побудована на основі дифузійного насоса, механічного насоса, високовакуумного затвора азотної пастки. Управління здійснюється за допомогою програматора, який забезпечує стабілізацію токоразряда по тиску газу, послідовність роботи механізму та напуск азоту в шлюзову камеру для розгерметизації. p align="justify"> Установка В«Ораторія-5В» складається з наступних складових частин і комплектів:
Гј установка вакуумна;
Гј ВЧ-генератор;
Гј шафа управління;
Гј комплект ЗІП;
Гј складові частини, що знімаються при транспортуванні.
Після закінчення робочого циклу кожен подложкодержатель повертається на вихідну позицію.
6. Порядок підготовки установки до роботи
. Установку В«Ораторія-5В» потрібно розмістити на площі 14 м 2 ;
....
