а катода в зборі 803,805 г, вага відпрацьованого катода в зборі 428,655 р
Витрата катода за 200 технологічних циклів його роботи: 375,150 г.
Форма перерізу виробки катода - чіткий трикутник кутом вниз, з нижньої вершиною по колу 90 мм і величиною заглиблення у вершині 6,4 мм, при початковій товщині катода 6,9 мм. Поверхня вироблення блискуча, дзеркальна, що свідчить про високу якість вихідного металу вакуумної плавки і атомарному віднесенні самого матеріалу.
Витрата матеріалу за один технологічний цикл: 375,150: 200=1,876 г, середня тривалість технологічного циклу 22,5 хв. Середня швидкість випаровування: 1,876: 22,5=0,0834 г/хв.
Ефективна поверхня випаровування катода - це плоске кільце з мінімальним діаметром 70 мм і максимальним діаметром 110 мм.
Робота катода з молібдену:
Катод у вигляді сегментів виготовляється пресуванням з порошку молібдену, з наступним спіканням і практично без подальшої механічної обробки. У роботу беруться якісні вироби з щільністю не нижче 9,8 г/см 3. Теоретична щільність молібдену - 10,2 г/см 3. Вага катода в зборі 878,466 г, вага відпрацьованого катода в зборі після 20 циклів його роботи 572,811 р
Витрата молібденового катода за 20 технологічних циклів його роботи 305,655 г.
Форма перерізу виробки катода - чіткий трикутник кутом вниз, з нижньої вершиною по колу 90 мм і величиною заглиблення у вершині 4,5 мм, при початковій товщині катода 6,3 мм. Цей катод міг би ще працювати. Поверхня вироблення рівна, матова, що свідчить про наявність залишкової мікропористості у пресованого вироби і атомарному віднесенні самого матеріалу.
Витрата матеріалу за один технологічний цикл: 305,655: 20=15,283 гр., середня тривалість технологічного циклу 67,5 хв. Середня швидкість випаровування: 15,283: 67,5=0,226 г/хв.
Ефективна поверхня випаровування катода - це плоске кільце з мінімальним діаметром 70 мм і максимальним діаметром 110 мм.
Рух газової фази атомів від катода до поверхні осадження
Конструктивне оформлення робочого простору.
Геометричне оформлення робочого простору, рух газового середовища напилюваного металу, положення початкового (катод) і кінцевого (підкладка) елементів шляху схематично представлено на малюнку 1.3.
Робочі камери для напилення танталу і молібдену відрізняються тільки матеріалом катодів, напилення здійснюється послідовно в одному вакуумному циклі для виключення появи міжшарових дефектів.
На центральній вертикальної осі камери О-О розташовується центр симетрії магнетрона 1 з катодом (випарником) 2. На цій же осі розташована приводна шестерня 9, вращающая касету 10. Сам механізм обертання перебуває за межами робочої камери і на схемі не показаний. Касета 10 виконана у вигляді півсфери і має три подложкодержателя 4 з опорами у вигляді роликів 7. При установці касети в робочу камеру 6, вона спирається трьома роликами 7 на кільцеву направляючу 5. Така конструкція забезпечує вільне обертання касети і одночасне планетарне переміщення по колу і обертання подложкодержателей 4 з підкладками 3 і 8. У кожному подложкодержателе закріплюється по п'ять прямокутних підкладок розміром 60 на 48 мм. Загальна кількість підкладок в касеті - 15 штук. Загальний вигляд касети і момент установки її в робочій камері представлені на малюнках 1.4 та 1.5.
Конструкція установки магнетронного напилення (малюнок 1.3) забезпечує обертання касети зі швидкістю 10 об/хв. При цьому подложкодержателі повертаються разом з касетою і одночасно обертаються разом з роликами кожен навколо своєї осі О 1 -О 1 зі швидкістю 40 об/хв.
Повний цикл напилення ніобію в середньому 22,5 хв. При цьому касета зробить 225 оборотів, а кожен подложкодержатель додатково 900 оборотів.
Малюнок 1.3 - Схема робочої камери напилення (виконано в масштабі)
Малюнок 1.4 - Загальний вигляд касети
Малюнок 1.5 - Установка касети в робочій камері
Повний цикл напилення молібдену в середньому 67,5 хв. При цьому касета зробить 675 оборотів, а кожен подложкодержатель додатково 2 700 оборотів.
При обертанні касети кожна точка підкладки 4 здійснює планетарне і синусоидальное рух по склепіння над випарником - катодом. Наприклад точка А робить рух по синусоїді А, а точка Б - по синусоїді Б. При цьому вид руху і кількість обертів забезпечують стабільність і повторюваність властивостей напиляється плівки в будь-якій точці підкладки.
З урахуванням масштабу малюнка 1.3, розпилювана кільцева поверхню катода має розміри: внут...
