що досить висока адгезія досягається при обробці підкладки в плазмі тліючого розряду або її нагріванні до температур 120 - 180 0 С (для плівок ПТФЕ) [31, 45]. При окисленні полімеру (ПЕ, ПТФЕ та інших) адгезія зростає. Проте їх деформаційні властивості різко знижуються. Товщина покриття також впливає на їх адгезію [46]. Більш міцно пов'язані з підкладкою тонкі покриття. Через негативного впливу внутрішніх напружень зі збільшенням товщини покриття адгезійна міцність знижується і при d> 10 мкм практично не змінюється.
Сильно виражену залежність від товщини полімерного покриття мають і коефіцієнт тертя f тр (рис. 5), крайовий кут змочування О? [46]. Для неокисному плівок ПТФЕ залежності f тр (d) і О? (d) близькі за своїм характером до залежності показника заломлення від товщини шару: при значенні d ~ 0,5 .. 1 мкм f тр і О? мають мінімальне значення. При окисленні полімеру коефіцієнт тертя має вищі значення й монотонно знижується при збільшенні товщини покриття. Дані особливості, а також кореляція залежностей f тр (d) і О? (d) свідчать про переважне вплив адгезійних взаємодій на параметри тертя тонких полімерних покриттів. Встановлені ефекти повністю узгоджуються з результатами наведеного вище їх аналітичного опису в рамках релаксаційно-дифузійної теорії міжфазних процесів [8]. br/>
В
Рис. 5. Залежність коефі - цієнта тертя плівок ПТФЕ від товщини при швидкості ковзання 1,7 м/с (1); 3,5 м/с (2, 4); 5,2 м/с (3, 5): 1 - відносна оптична щільність смуги 1720 см -1 (коливання карбонільних груп - С = О) 1-D 1720 /l = 0; 2, 3 - 0,7 мкм -1 ; 4, 5 - 1,5 мкм -1 . /Td>
Встановлено, що тонкі полімерні покриття, отримані з активної газової фази, мають високу зносостійкість, особливо в тонких шарах (рис. 6) [47].
В
Рис. 6. Розподіл ізно - зі стійкості шарів ПТФЕ по товщині покриття.
Параметри тертя: давле - Ня Р = 22,25 Н, швидкість ковзання V з = 25 мм/с
В
Висновок
Встановлений ефект, а також дані про захисні властивості покриттів, наведені в [43] свідчать про визначальний вплив процесів об'ємного структуроутворення на властивості покриттів. У зв'язку з цим в якості одного їх ефективних напрямків підвищення фізико-механічних властивостей покриттів слід розглядати формування багатошарових тонкоплівкових систем з матеріалів, що мають обмежену термодинамічну сумісність.
Досить високі експлуатаційні властивості полімерних покриттів визначають їх ефективне використання в мікроелектроніці (діелектричні і напівпровідникові шари, резистивні покриття, захисні і гідрофобні плівки та ін), машинобудуванні (антифрикційні, антикорозійні і декоратив...
