орюватися як постійними магнітами, так і магнітними котушками, але котушки дозволяють регулювати ступінь іонного впливу на зростаючу плівку безпосередньо під час її нанесення. Зміною струму в цих котушках можна реалізувати обидва типи конфігурації магнітного поля незбалансованого магнетрона, а також плавний перехід між ними. Змінювати ступінь незбалансованості магнетрона можна і за допомогою магнітних систем на постійних магнітах. Для цього зовнішній і внутрішній ряди магнітів робляться рухливими щодо одне одного. У збалансованому режимі зовнішні магніти відсунуті від мішені, в той час як внутрішні магніти максимально до неї наближені. Якщо в слабо незбалансованому режимі всі магніти наближені до мішені, то в сильно незбалансованому режимі до неї наближені тільки зовнішні магніти, а внутрішні відсунуті вглиб магнетрона. Підвищення інтенсивності іонного бомбардування зростаючої плівки дозволяє радикальним чином впливати на її характеристики, зокрема створювати метастабільні фази, формувати нанокомпозитні структури тощо [11]
Який тип магнетронній розпилювальної системи краще використовувати, залежить від конкретної технологічної задачі. br/>
1.3 Магнетрон з жідкометалліческім мішенню (рідиннофазної
магнетрон)
При односекційній магнітній системі можна досягати високої щільності потужності до 103 Вт/см2 при розпиленні з твердої фази і до 104 Вт/см2 - з рідкої фази. Рідкофазний процес розпилення проводиться з високою лінійною швидкістю переміщення магнітної системи> 100 мм/с при інтенсивному охолодженні катода водою з температурою 10-12оС. Спеціально підібрана магнітна система дозволяє вести осадження покриття на дистанції від 7 до 10 мм [12]. p align="justify"> Швидкості напилення металевих плівок, отриманих за допомогою термічного випаровування у вакуумі, дуже великі (близько 170 нм/сек), але з іншого боку вони мають дуже пухку структуру.
При магнетронном розпиленні виходять досить щільні плівки, але при незначній швидкості. Як же об'єднати два перерахованих вище методу. Існує конструкція магнетрона з теплоизолированной мішенню, яка об'єднує в собі два цих методу. Плівки, отримані за допомогою даної конструкції, мають хорошу адгезію, так як кожен наступний шар часток, що летять на підкладку, ущільнює попередні шари. Ще одна перевага магнетрона з теплоизолированной мішенню - це високі швидкості осадження, такі як при термічному випаровуванні металевих плівок у вакуумі. p align="justify"> За теоретичними розрахунками, підтвердженим експериментальними дослідженнями, процес іонного (розпилення відбувається в приповерхневому шарі металу товщиною 0,3-0,8 нм і на нього в діодним розпилювальної системі (PC) витрачається менше 3% енергії, що підводиться . Вся інша енергія переходить в основному в тепло, внаслідок чого доводиться забезпечувати інтенсивне охолодження мішені. При цьому питома потужність іонного стру...
