олук, таких, як TiN, TiC, Mo2N, ZrN та інших, що формуються методом КІБ, мають високу твердість, хімічною стійкістю, гарну адгезію до підкладки, здатністю адсорбувати змащувальні речовини і великим опором до зношування.
Однак при терті таких покриттів, отриманих при режимах осадження, які не передбачають зниження крапельної фази, по металевих матеріалами відбувається інтенсивний знос останніх. Так, для покриття TiN діаметр крапель може досягати 25 мкм, а висота - кількох мікрометрів, при цьому краплі мають високу твердість і в процесі тертя викликають багаторазове пластичне деформування поверхні контртіла і навіть мікрорезанія поверхневих шарів. p align="justify"> Вважається, що крапельна фаза утворюється в результаті кипіння матеріалу катода при вмісті в ньому розчинних технологічних газів. При цьому тільки в поверхневих шарах освічених мікрочастинок протікають плазмохімічні реакції і краплі осідають на поверхні підкладки у вигляді включень Вплив крапельної фази на триботехнические властивості покриттів неоднозначно: з одного боку, вона веде до зменшення процесу тріщиноутворення, з іншого, - знижує адгезійні властивості покриття і погіршує поверхневий рельєф деталі. З метою зниження шорсткості покриття TiN пропонують виробляти полірування поверхні покриття, після чого інтенсивність зношування покриття і контртіла значно знижується. p align="justify"> Ефективним технологічним напрямом підвищення експлуатаційних властивостей є нанесення багатошарових покриттів. У таких покриттях перший шар TiN (рахуючи від матеріалу основи) є зносостійким, а наступні (молібден, титан, срібло, політетрафторетилен) - м'якими, пріработочнимі. При цьому підвищується зносостійкість як покриття, так і контртіла. p align="justify"> З метою зниження вмісту крапельної фази використовують такі технологічні прийоми:
1. В якості катода використовують метали з мінімальним вмістом розчинених газів. Це досягається при отриманні катодів методом вакуумної плавки або дегазації катода шляхом його нагрівання у вакуумі безпосередньо перед нанесенням покриття.
2. Проводять сепарацію газокапельних потоків, наприклад, шляхом застосування зовнішнього магнітного поля.
. Здійснюють оптимізацію технологічних параметрів електродугового випаровування. Проводять процес нанесення покриття при мінімальних значеннях сили струму, що, однак, знижує швидкість росту. Рекомендується підтримувати максимально допустимий тиск азоту у вакуумній камері.
Одним з найважливіших параметрів процесу є тиск реакційного газу (азоту) при нанесенні покриття нітриду титану. Від величини тиску азоту залежить фазовий склад, текстура, напружений стан і, відповідно, твердість і зносостійкість покриттів. В інтервалі тисків від 10-3 до 102 Па азоту в камері можливе утворення сполук нітриду титан...
