я.
Основні недоліки методу:
1. Сильна залежність властивостей покриттів від технологічних режимів, що вимагає практично для кожної деталі проведення окремих робіт щодо їх оптимізації. З цієї причини у вакуумну камеру проводиться завантаження тільки однотипних деталей.
2. Наявність краплинної фази. При нанесенні таких покриттів на поверхню тертя краплі діють на поверхню контртіла як абразивні частки.
. Труднощі при нанесенні покриттів на мелколезвійний інструмент, так як при іонної очищення інструменту має місце притуплення гострих кромок, і вони легко руйнуються.
. Відносно низька відтворюваність фізико-механічних властивостей покриттів.
Типова установка для одержання нітридів, оксидів, карбідів металів методом КІБ включає:
реакційну камеру з вакуумною системою відкачування;
систему електродугового випаровування з блоком живлення;
систему напуску реакційного газу.
Основні характеристики установок, що випускаються в країнах СНД, наведені в таблиці 1.
Таблиця 1 - Характеристики Іоніо-плазмових установок, що дозволяють наносити покриття методом КІБ
Характеристика установкіТіп установкіННВ6.6-І1ННВ9.5-І1ННВ6.10-І1ІЕТ-8-І2ЮніонПуск 81-1Булат-4ВУ-1БРазмери робочої камери, мм: - діаметр - довжина 600 600 900 500 600 1000 900 500 700 500 360 450 700 500 600 510Чісло електродугових випарників, шт.344221 231Наібольшая споживана потужність, кВт2735352030162020Наібольшіе розміри усталилося-няющая інструменту, мм: - діаметр - довжина 200 250 200 250 200 500 200 250 150 250 200 200 200 250 60 200Скорость осадження пок -криття TiN, мкм/ч10..3010..3010..3010.3010..40406..106..15Масса установки, кг3400 - 1900315015002800-Площа для розміщення, м215 - 2417, 5303024
Установки, що містять потужні дугові випарники і дозволяють наносити покриття з високою швидкістю, мають істотний недолік: при великих токах дуги виникає нестабільність дугового розряду внаслідок великого тепловиділення на катоді, зростає вміст крапельної фази, розмір часток і в результаті знижується якість покриттів. Тому з метою підвищення продуктивності напилення, досягнення більш високих швидкостей росту при збереженні високої якості покриттів використовують декілька (три і більше) випарників, генеруючих спрямовані потоки атомів металу у взаємно перпендикулярних напрямках. Це дозволяє також підвищити равнотолщінность нанесених покрить і забезпечити високу економічність процесу. p align="justify"> Метод КІБ отримав широке застосування як спосіб підвищення працездатності різального інструменту. Покриття на основі тугоплавких і теплостійких сп...
