мічний зв'язок. Термокомпрессіонной зварювання має такі переваги: ??
з'єднання деталей відбувається без розплавлення зварювальних матеріалів; питомий тиск, що прикладається до кристалу, не призводить до механічних пошкоджень напівпровідникового матеріалу;
з'єднання отримують без забруднень, так як не використовують припої і флюси. До недоліків слід віднести малу продуктивність процесу. Термокомпрессіонной зварювання можна здійснювати шляхом з'єднань внахлест і встик. При зварюванні внахлест електричний дротяний висновок, як зазначалося, накладають на контактну площадку кристала напівпровідника і притискають до нього спеціальним інструментом до виникнення деформації виводу. Вісь дротяного виведення при зварюванні розташовують паралельно площини контактної площадки. При зварюванні в стик дротяний висновок приварюють торцем до контактної майданчику. Вісь дротяного виведення в місці приєднання перпендикулярна площині контактної площадки.
Зварювання внахлест забезпечує міцне з'єднання кристала напівпровідника з дротяними висновками з золота, алюмінію, срібла та інших пластичних металів, а зварювання встик-тільки з висновками із золота. Товщина дротяних висновків може становити 15-100 мкм. Приєднувати висновки можна як до чистих кристалів напівпровідника, так і до контактних площадок, покритим шаром напиляного золота або алюмінію. При використанні чистих поверхонь кристала збільшується перехідний опір контакту, і погіршуються електричні параметри приладів.
Елементи, що підлягають термокомпрессіонной зварюванні, проходять певну технологічну обробку. Поверхня кристала напівпровідника, покриту шаром золота або алюмінію, знежирюють.
Золоту дріт отжигают при 300-600 ° С протягом 5-20 хв залежно від способу з'єднання деталей. Алюмінієвий дріт протруюють в насиченому розчині їдкого натру при 80 ° С протягом 1-2 хв, промивають в дистильованої води, і сушать. Основними параметрами режиму термокомпрессіонной зварювання є питомий тиск, температура нагріву і час зварювання, Питомий тиск вибирають залежно від допустимого напруги стиснення кристала напівпровідника і допустимої деформації матеріалу приварюється виводу. Час зварювання вибирають експериментальним шляхом.
Електроконтактне зварювання. Цей процес широко використовується для герметизації корпусів напівпровідникових приладів та інтегральних мікросхем. Вона заснована на расплавлении певних частин з'єднуються металевих деталей за рахунок проходження через них електричного струму. Сутність процесу електроконтактного зварювання полягає в тому, що до зварюваних деталей підводять два електроди, на які подають певну напругу. Так як площа електродів значно менше, ніж площа зварювальних деталей, то при проходженні через всю систему електричного струму в місці зіткнення деталей, що зварюються, 'що знаходяться під електродами, виділяється велика кількість теплоти. Це відбувається за рахунок великої щільності струму в малому обсязі матеріалу зварюваних деталей. Великі щільності струму розігрівають контактні ділянки до розплавлення певних зон вихідних матеріалів.
При припиненні дії струму температура контактних ділянок знижується, що спричиняє за собою охолодження розплавленої зони та її рекристалізацію. Отримана таким чином Рекрісталлізаціонний зона герметично з'єднує однорідні і різнорідні металеві деталі оди...
