електронів і атомів заліза Ер (зокрема, на катодне розпилення). Атоми заліза в плазмі тліючого розряду з'єднуються з азотом, існуючим в різних станах збудження, утворюючи нітрид заліза, який адсорбується на поверхні катода. Напилений шар нітридів під дією іонного бомбардування розкладається з отриманням нижчих нітридів заліза і ? -розчину (FеN? Fе2N? Fе3N? Fе4N < span align = "justify">?? ).
Отриманий при розпаді нижчого нітриду азот дифундує в поверхневий шар металу, утворюючи зону внутрішнього азотування, а залізо, збіднене азотом, знову розпорошується на плазму. Процеси утворення нітридів у прікатодном просторі та їх осадження на катоді безперервно повторюються. Отже, нітрідние фази, що конденсуються на поверхні катода, є поряд з газовою фазою джерелом азоту. p align="justify"> Структуру і фазовий склад можна регулювати зміною тиску і складу насичує атмосфери. У аміачної плазмі найбільша товщина шару при 520-570 В° С досягається на сталях 08, 40Х і 38Х2МЮА при тиску 2 мм рт. ст. (Рис. 3.1.3), а при 650 В° С - 6 мм рт. ст. Введення в аміачну плазму аргону (5-15% NH8 і 95-85об% Аr) дозволяє отримати азотований шар, Відбувся тільки з ? -фази і легованих нітридів (рис. 6.4).
В В
Азотування в суміші аміаку і пропану (8-12 об%) призводить до утворення на поверхні добре розвиненою карбонітридним зони. При вмісті пропану в суміші 40 об. % І більше взаємодія плазми з поверхнею виробу припиняється (рис. 3.1.3, б). p align="justify"> При іонної бомбардуванню досягається ідеальна депассівація поверхні за рахунок видалення окисних плівок у процесі катодного розпилення [8].
Для захисту поверхні від азотування застосовують спеціальні екрани або гальванічне покриття нікелем (10-15 мкм).
Применяю вакуумну Колпакова електропіч іонного нагріву продуктивністю 80 кг/ч.
В
Малюнок 6.5 Мікоструктура азотированного шару х100
Таблиця 6.1 Відомість обладнання
п.п.Наіменованіе оборудованіяВибор оборудованіяПроізво-тивність, кг/чТіп печіРазмер робочого простору, мНаружние габарити, м1ОтжігСШО-6.12/10 Г? 0,6 Г— 1,22, 8 Г— 2,7 Г— 4,0 1502ЗакалкаСШЗ 6.12/10 Г? 0,6 Г— 1,22,8 Г— 2, 7 Г— 3,8 1503Закалочние бакіЗБ4ОтпускСШО 6.12/7 Г? 0,6 х1 , 2 2,8 Г— 2,7 Г— 4,0 1005Стаб. відпустку СШО 6.12/7 Г?0, 6 х1, 2 2,8 Г— 2,7 Г— 4,0 1006ТвердомерТШ 27АзотіррваніеНГВ...
