вуара.
StartPurge
Натискання кнопки StartPurgeстартует виконання операції прокачування.
Drain
Режим Drain (злив) схожий з режимом прокачування і використовується для видалення від речовини з насоса. У цьому режимі речовина витікає через обраний шлях - або через вхідний клапан, або через вихідний доти, поки оператор не закінчить операцію зливу. Перезаполненіе насоса не відбувається в режимі зливу.
HVP обслуговування - слив.
DrainTime
Повний час яке буде використано для видалення речовини з насоса. Варіюючи час зливу користувач може змінювати швидкість потоку при виконанні операції зливу (менший час призведе до більшої швидкості потоку для будь-якого даного обсягу).
DrainToSource
Вибір цього режиму дозволяє насосу викачувати речовина в подающую ємність при виконанні операції зливу.
DrainToOutput
Вибір цього режиму дозволяє насосу викачувати речовина на вихід при виконанні операції зливу.
DrainToSourceViaOutput
Вибір цього режиму дозволяє насосу викачувати речовина в подающую ємність через вихідний і рециркуляционний клапан (3-х ходовий клапан).
StartDrain
Натискання кнопки StartDrain запускає виконання операції зливу. Ви не можете вибрати DraintoSource або theDraintoOutput в процесі виконання операції зливу.
Eventlog [журнал подій]
Журнал подій дає доступ до інформації про всі події генеруються насосом. Журнал енергонезавісім так, що інформація зберігається при знеструмленні насоса.
HVP обслуговування - журнал подій.
3. Технологія формування полиимидной захисту заданої товщини
У 2012 році ВАТ «Ангстрем» на запит відділу фотолітографічних процесів придбала трек SVG 8826 для нанесення SOG (Spin-onGlass-планарізатор) і поліамідних шарів. У грудні 2012 року трек був встановлений в гермозоні на своєму робочому місці, почався процес налагодження обладнання. Налагодження полягала в роботі над двома видами змінних параметрів:
) параметри насоса, що виставляються за допомогою стаціонарного комп'ютера
) параметри самого треку, що виставляються через панель управління на треку SVG 8826.
Робота з першим типом параметрів була необхідна з метою точного усвідомлення впливу різного роду змін в режимі роботи насоса на якість (однорідність, планарність, повторюваність) нанесення полиимида. Робота з треком і насосом для високов'язких рідин разюче відрізнялася від роботи з треком ручного нанесення полиимида чинності більшої кількості параметрів, які впливають на результат.
Головними цілями налагодження були:
) вихід на підсумкову товщину шару ПІ 7.3 ± 0.8 мкм
) вихід на сигму (показник однорідності товщини) менш 0.2 мкм
За підсумками перших робіт були встановлені параметри, які повинні бути константами. Також було припущено, що на якість заливки пластин мають вплив два чинники: «Volume» (обсяг подаваного розчину) і «Time» (час, за який обсяг подається на пластину).
Всі етапи налагодження процесу були законспектувати у відповідному документі.
У спрощеному вигляді етапи формування захисних шарів можна представити таким чином:
Головним критерієм оцінки якості процесу нанесення, в даному випадку, полиимида є середньоквадратичне відхилення, яке дозволяє оцінити однорідність товщини шару.
3.1 Середньоквадратичне відхилення
Середньоквадратичне відхилення - в теорії ймовірностей і статистиці найбільш поширений показник розсіювання значень випадкової величини відносно її математичного очікування.
Середньоквадратичне відхилення вимірюється в одиницях виміру самої випадкової величини і використовується при розрахунку стандартної помилки середнього арифметичного, при побудові довірчих інтервалів, при статистичній перевірці гіпотез, при вимірюванні лінійного взаємозв'язку між випадковими величинами. Визначається як квадратний корінь з дисперсії випадкової величини.
Середньоквадратичне відхилення:
Стандартне відхилення (оцінка середньоквадратичного відхилення випадкової величини x щодо її математичного очікування на основі несмещённой оцінки її дисперсії):
де - дисперсія;- I-й елеме...
