нт вибірки;- Обсяг вибірки;- Середнє арифметичне вибірки:
Слід зазначити, що обидві оцінки є зміщеними. У загальному випадку несмещённую оцінку побудувати неможливо. Однак оцінка на основі оцінки несмещённой дисперсії є спроможною.
Правило трьох сигм
Правило трьох сигм () - практично всі значення нормально розподіленої випадкової величини лежать в інтервалі. Більш строго - приблизно з 99,73% вірогідністю значення нормально розподіленої випадкової величини лежить в зазначеному інтервалі (за умови, що величина - істинна, а не отримана в результаті обробки вибірки).
Якщо ж справжня величина невідома, то слід користуватися не, а s. Таким чином, правило трьох сигм перетвориться в правило трьох s.
lt; # justify gt; Інтерпретація величини середньоквадратичного відхилення.
Велике значення середньоквадратичного відхилення показує великий розкид значень в представленому безлічі з середньою величиною безлічі; маленьке значення, відповідно, показує, що значення в безлічі згруповані навколо середнього значення.
Наприклад, у нас є три числових безлічі: {0, 0, 14, 14}, {0, 6, 8, 14} і {6, 6, 8, 8}. У всіх трьох множин середні значення рівні 7, а среднеквадратические відхилення, відповідно, дорівнюють 7, 5 і 1. В останнього безлічі середньоквадратичне відхилення маленьке, так як значення в безлічі згруповані навколо середнього значення; у першого безлічі найбільше значення середньоквадратичного відхилення - значення всередині безлічі сильно розходяться із середнім значенням.
У загальному значенні середньоквадратичне відхилення можна вважати мірою невизначеності. Приміром, у фізиці середньоквадратичне відхилення використовується для визначення похибки серії послідовних вимірювань якої-небудь величини. Це значення дуже важливо для визначення правдоподібності досліджуваного явища в порівнянні з передбаченим теорією значенням: якщо середнє значення вимірів сильно відрізняється від передбачених теорією значень (велике значення середньоквадратичного відхилення), то отримані значення або метод їх отримання слід перевірити ще раз.
3.2 Формування шару полиимида методом центрифугування, дослідження впливу параметрів установки нанесення на процес
Ми використовували статичний метод нанесення поліімідного прекурсора для формування полиимидной захисту. Назва методу означає, що при дозуванні розчину на оброблювану пластину пластина не обертається. Це дозволяє позбутися від зайвих дефектів, які виникають при динамічному нанесенні.
Після підготовчих робіт на треку, запуску декількох тестових пластин, було вирішено використовувати швидкість формування (максимальну швидкість обертання пластини на центрифузі після нанесення розчину) шару рівний 1700 оборотів в хвилину.
Був встановлений перелік параметрів треку і насоса, які могли б мати вплив на одержуваний поліімідного шар. Список параметрів:
Volume (ml) - обсяг дозируемого на пластину розчину полиимида;
Time (sec) - час, за який здійснюється подача розчину;
Швидкість дозування (ml/sec) - введений нами параметр, що показує який обсяг розчину дозується в одиницю часу;
Recharge (перезарядка) - час, за який насос заповнюється рідиною;
швидкість формування (об./хв.) - максимальна швидкість обертання пластини на центрифузі, спрямована на остаточне розтіканню й випарювання залишків розчинника;
Умови формування різнилися по ходу проведення випробувань. Існувало два методу формування шару: 1) після статичної подачі розчину пластина залишалася нерухомою деякий час, потім слід було обертання; 2) після статичної подачі розчину пластина негайно починає обертання;
При цьому швидкості обертання і час на різних етапах формування шару різнилися.
Список параметрів таблиць, що є результатом випробувань:
? (мкм) - різниця між максимальною і мінімальною товщинами плівки, отриманої після виконання робочої програми на треку;
d ср (мкм) - середня товщина отриманої плівки;
СКО - середнє квадратичне відхилення;
Вимірювання товщини проводилися по п'яти точках радіуса пластини.
По ходу випробувань, при використанні швидкості формування 1700 об./хв., було з'ясовано, що параметр «дозування», який визначається як відношення обсягу речовини, нанесеного на пластину, до часу, за яке відбувається дозування , не впливає на товщину і однорідність шару. Варіювання обсягу дозування було достатньо великим для того, щоб помітити я...
