ку-небудь закономірність. Суть цього параметра полягає в наступному: насос, що подає прекурсор, прикладає певний тиск до високов'язкого розчину в системі. Тому було припущено, що певний характер подачі, а і?? енно: формування калюжі з поглибленням посередині, викликаним надлишковим тиском в системі подачі, впливатиме і на характер одержуваного шару полиимида на поверхні всієї пластини.
В «Таблиці 1» показані товщини шару полиимида по точкам. Видний «провал» в центрі пластини.
Табл. 1" Товщина шару полиимида по радіусу пластини при швидкості формування шару полиимидной захисту 1700 об./Хв.»
1 т.2 т.3 т.4 т.центр10,39410,25110,37710,37110,31211,63911,1810,7210,35310,38110,36910,0539,9569,9379,7859,3538,9949,1129,2018,7929,7579,499,3399,1569,3599,999,6629,5719,8169,2969,7729,7079,4549,7399,1469,6609,6439,5719,7939,2019,5769,3649,4189,6439,2289,5729,2959,3659,5799,0639,5039,1979,3739,5119,0779,6139,2729,4329,529,1739,8439,6889,5719,8079,2859,7059,5829,429,7249,464
Табл. 2 «Залежність товщини шару полиимида від параметрів треку»
параметри насосапараметри пленкіSTEP 1RechargeдозірованіеV форм.?, d ср, СКОVolume, mlTime, secml/secоб/минмкммкм220300,1017000,4067,7140,1942,520300,1317000,0138,0230,0602,520300,1317000,4078,2160,1684,520300,2317000,5809,0460,2534,520300,2317000,4638,9060,1884,520300,2317001,0939,0490,4454,520300,2317000,4319,1890,1974,520300,2317000,6439,3270,2724,520300,2317000,5819,9100,220520300,2517002,70414,0381,144320300,1517001,5259,7100,633320300,1517000,8349,7800,305320300,1517000,45610,1820,184320300,1517000,9089,3200,3612,520300,1317000,4249,8870,153220300,1017000,7609,8940,3102,520300,1317000,8278,3930,312,520300,1317000,7678,6720,281220300,1017001,28610,8540,551220300,1017000,58410,0200,217220300,1017000,5619,0900,212220300,1017000,6019,4200,223220300,1017000,6949,6670,2622,520300,1317000,6269,5640,2652,8520300,1417000,5929,5740,233320300,1517000,4159,4460,1663,320300,1717000,5169,3750,2143,520300,1817000,4349,3320,1913,920300,2017000,449,4020,179320300,1517000,5589,6300,2252,820300,1417000,3049,5790,137220300,1017000,55710,1190,215220300,1017000,5639,7700,243220300,1017000,4799,7820,179
Було вирішено збільшити час дозування до 20 секунд, щоб виключити чинник «швидкої» подачі, що могло б призвести до недостатнього розтіканню розчину перед розкручуванню пластини
За проміжними результатами випробувань були зроблені графіки, що відображають суть чисел, укладених в межі таблиці.
Якщо розрахувати якість процесу по відношенню до сигмі, то знайдемо відсоток успішних циклів нанесення від усієї кількості.
В цілому, товщина шару вийшла набагато більше потрібної нам. Тому було прийнято рішення збільшити швидкість формування шару полиимида. Збільшення швидкості з 1700 оборотів до 2200 було викликано тим, що необхідно було встановити межі максимальної швидкості, що дозволяло б досліджувати інтервал швидкостей, а не повільну підгонку.
Так як ефект параметра «дозування» на якість формованого шару був незначним, було вирішено не приділяти увагу варьированию його значення, а звернути увагу на повторюваність операції нанесення. Саме повторюваність в умовах ВАТ «Ангстрем» визначала всю успішність задумів з перекладу формування полиимидной захисту на автоматичний режим.
Табл. 3" Товщина шару полиимида по радіусу пластини при швидкості формування шару полиимидной захисту 2200 об./Хв.»
1 т.2 т.3 т.4 т.центр5,9815,8145,8275,9675,4745,8365,6585,6145,6515,5016,1586,1556,2536,3736,0876,0996,0466,0746,1475,9766,0356,0966,1366,1825,6936,6586,7026,6156,5536,2336,6056,5356,5616,6486,2078,0248,0918,0167,9367,9887,8367,8257,7567,7967,8598,4598,5088,3168,438,5266,4926,1916,1406,0925,3106,0096,0055,7565,7564,5136,1386,3416,5026,4455,6756,2716,346,4036,4495,895
Розрахуємо якість процесу по відношенню до сигмі. Знайдемо відсоток успішних циклів нанесення від усієї кількості повторень.
В цілому, товщина шару вийшла менше тієї, яка потрібна нам. Тому треба було знизити швидкість формування шару полиимида. Зменшень швидкості з 2200 оборотів до 2000 було викликано тим, що нижня межа потрібної нам товщини шару була ненабагато більше тієї, яка вийшла при нанесенні зі швидкістю в 2200 обертів/хвилину.
Табл. 4" Товщина шару полиимида по радіусу пластини при швидкості формування шару полиимидной захисту 2000 об./Хв.»
1 т.2 т.3 т.4 т.центр5,9815,8145,8275,9675,4745,8365,6585,6145,6515,5016,1586,1556,2536,3736,0876,0996,0466,0746,1475,9766,0356,0966,1366,1825,6936,6586,7026,6156,5536,2336,6056,5356,5616,6486,2078,0248,0918,0167,9367,9887,8367,8257,7567,7967,8598,4598,5...
