088,3168,438,5266,4926,1916,1406,0925,3106,0096,0055,7565,7564,5136,1386,3416,5026,4455,6756,2716,346,4036,4495,8956,3836,5386,6906,9276,4436,5666,4996,666,6876,3376,6676,7366,8586,8076,4326,1866,4486,5556,6165,7316,4786,4906,5026,3785,7656,0946,2216,4736,4375,7236,5226,4376,5006,5736,0306,3986,3256,4066,4625,9996,5936,4876,5636,6816,146
Табл. 5 «Залежність товщини шару полиимида від параметрів треку.» (1)
параметри насосапараметри пленкіSTEP 1RechargeдозірованіеV форм.?, d ср, СКОVolume, mlTime, secml/secоб/минмкммкм35100,6020000,4706,2330,18635100,6020000,4416,5110,17525100,4020000,5477,5270,21735100,6020000,2976,8750,11238100,3820000,3557,0760,14333101,0020000,1247,1170,0533101,0020000,2497,3110,10723100,6720000,2417,2160,08933101,0020000,4157,1480,17233101,0020000,4687,1990,20634100,7520000,2937,2210,11633,5100,8620000,257,1570,095310100,3020000,4167,4170,1734100,7520000,4887,4680,20434100,7520000,7067,5370,29435100,6020000,3677,6570,15835300,6020000,4657,4780,18533301,0020000,9907,0460,40455301,0020000,7067,5230,27355301,0020000,6117,2530,25355301,0020000,8367,2360,36024300,5020000,4137,2170,16426300,3320000,3797,1670,17186301,3320000,7187,2000,30024300,5020000,4637,4200,18824300,5020000,5037,0540,24324300,5020000,3057,1410,1324300,5020000,4197,0890,18524300,5020000,5157,1210,19624300,5020000,2687,2030,11924300,5020000,6987,0760,272210300,2020000,3487,3410,136220300,1020000,5097,1870,18025300,4020001,0098,0030,41325300,4020000,5177,4410,19835300,6020000,4547,4250,19735300,6020000,3927,7920,16235300,6020000,4697,6410,164
Табл. 6 «Залежність товщини шару полиимида від параметрів треку.» (2)
параметри насосапараметри пленкіSTEP 1RechargeдозірованіеV форм.?, d ср, СКОVolume, mlTime, secml/secоб/минмкммкм34300,7520000,7627,5490,20535300,6020000,3997,5380,15924300,5020000,3257,650,18324300,5020000,4057,3270,19224300,5020000,5417,8140,14324300,5020000,4857,990,14524300,5020000,4117,930,19424300,5020000,3057,3070,13864301,5020001,6287,9040,70334300,7520001,3867,7790,56535300,6020000,5446,5960,21835300,6020000,3506,5500,14035300,6020000,4266,7000,16635300,6020000,3896,7230,16035300,6020000,6316,7460,26835300,6020000,7586,7290,30035300,6020001,1266,9640,48535300,6020000,5357,6480,22935300,6020000,8497,6710,293320300,1520000,3397,6510,13335300,6020000,8797,4390,206320300,1520000,7737,7010,309320300,1520000,7777,5470,214330300,1020000,3827,6200,185320300,1520000,7237,7530,291320300,1520000,4167,8500,171320300,1520000,4347,6890,198320300,1520000,5257,8190,235
Розрахуємо якість процесу по відношенню до сигмі. Знайдемо відсоток успішних циклів нанесення від усієї кількості повторень.
В цілому, товщина шару вийшла та, яка потрібна нам. Тому було прийнято рішення зупинитися в підборі параметрів саме на швидкості формування в 2000 об./Хв.
Спробуємо оцінити вплив на процес такого параметра як «швидкість дозування». Незважаючи на великий розкид у значеннях цього параметра, можна помітити, що найбільш часто використовувана величина обсягу поліімідного прекурсора дорівнює 3 мл. Це пов'язано з економічним чинником. Було відмічено, що при даній величині, в порівнянні з іншими, результати нанесення є: 1) стабільними 2) прийнятними.
Відсутність висновків, пов'язаних з варіативністю інших параметрів треку на якість шару полиимидной захисту, обумовлено тим, що жоден з них не надав належного впливу на формований шар.
Встановлюючи залежність між швидкістю формування шару і отриманої товщиною (і СКО), можна зрозуміти, що на процес впливають властивості, якими володіє сам розчин полиимида. З відомих властивостей, якими володіють рідини і які впливають на поведінку рідин на площині, ми можемо встановити властивість «Поверхневого натягу».
Поверхневий натяг - термодинамічна характеристика поверхні розділу двох знаходяться в рівновазі фаз, обумовлена ??роботою оборотного ізотермокінетіческого освіти одиниці площі цієї поверхні розділу за умови, що температура, обсяг системи і хімічні потенціали всіх компонентів в обох фазах залишаються постійними.
Поверхневий натяг має подвійний фізичний зміст - енергетичний (термодинамічний) і силовий (механічний). Енергетичне (термодинамічна) визначення: поверхневий натяг - це питома робота збільшення поверхні при її розтягуванні за умови сталості температури. Силове (механічне) визначення: поверхневий натяг - це сила, що діє на одиницю довжини лінії, яка обмежує поверхню рідини.
Сила поверхневого натягу спрямована по дотичній до поверхні рідини, перпендикулярно до ділянки контуру, на який вона діє і пропорційна довжині цієї ділянки. Коефіцієнт пропорційності - сила, що припадає на одиницю довжини контуру - називається коефіцієнтом поверхневого натягу. Він вимірюється в ...
