поверхні. p align="justify"> Основні вимоги до установок вакуумного нанесення тонких плівок полягають у забезпеченні максимальної чистоти плівки, її адгезії до підкладки, заданої структури і розміру зерна, отриманні високої рівномірності товщини плівки, забезпеченні необхідної продуктивності обробки. Задоволення цих вимог здійснюється шляхом вибору способу нанесення плівки і типу вакуумної системи, вибору найбільш ефективного джерела випаровування або розпилення матеріалу, способу підготовки поверхні підкладки, розрахунком відстані від джерела до поверхні осадження і траєкторії їх відносного переміщення. p align="justify"> Важливу роль відіграє вибір методів контролю параметрів техпроцесу і системи управління. Забезпечення високої продуктивності досягається вибором оптимального варіанта структури і компонування, способу агрегатування обладнання, створенням високонадійній конструкції. br/>
1. Аналіз завдання на проектування
Для розширення теоретичних і практичних знань і навичок з дисципліни В«Наладка і експлуатація обладнання для термічних і вакуумно-еліонних процесівВ» введено курсове проектування за темою В«Експлуатація установки полунепреривного діїВ« Ораторія-5 В». Розрахунок часу відкачки шлюзу
Метою виконання курсового проектування є вивчення пристрою, експлуатацію, технічне обслуговування, основні несправності та методи їх усунення для установки В«Ораторія-5В».
Курсове проектування включає в себе такі завдання:
огляд сучасного обладнання для отримання тонких плівок;
аналіз методів нанесення тонких плівок;
аналіз матеріалів і конструкцій магнетронів для іонного розпилення тонких плівок;
призначення, основні конструктивні елементи робочої камери установки В«Ораторія-5В»;
порядок підготовки установки до роботи;
основні несправності та методи їх усунення;
розрахунок часу відкачки шлюзу;
розробка заходи з охорони праці, навколишнього середовища;
2 . Огляд обладнання для отримання тонких плівок
Вакуумні установки для нанесення тонких плівок поділяють на чотири групи.
До першої відносять універсальні вакуумні установки, що мають порівняно невисоку продуктивність, але володіють великими можливостями. Робоча камера цих установок являє собою ковпак, піднімається і опускається вертикально. p align="justify"> Працюють вони періодично і в основному призначені для дослідницьких цілей. Встановлення другої групи, більш продуктивні, також періодичної дії, мають рухливу або нерухому горизонтально розташовану робочу камеру з груповою завантаженням підкладок. Установки третьої і четвертої груп, високої продукт...
