ивності, призначені для обладнання цехів серійних заводів. p align="justify"> Установки третьої групи оснащені шлюзовими камерами і мають напівбезперервний цикл роботи, а установки четвертої групи обладнані завантажувальними і транспортують пристроями, шлюзовими камерами, мають безперервний цикл роботи і являють собою виробничі лінії. p align="justify"> Вакуумні установки виконуються приблизно за однією схемою, мають багато спільних елементів і відрізняються один від одного конструкцією пристроїв, що підвищують продуктивність праці, яка залежить від ступеня безперервності технологічного процесу і кількості одночасно оброблюваних підкладок. Тому розглянемо будову та принцип дії найбільш простих вакуумних установок і їх особливості. br/>
2.1 Установка вакуумного напилення тонких плівок
Установка вакуумного напилення тонких плівок складається з підстави, ковпака (робочої камери) з механізмом для його підйому і подколпачним пристроєм, вакуумної системи, системи охолодження і пульта управління з електричним блоком.
В
Малюнок 2.1 - Установка вакуумного напилення тонких плівок
-посудину Дьюра, 2-автоматичний живильник рідкого азоту, 3-паромасляних насос, 4-азотна пастка, 5-вакуумний затвор, 6-ковпак (робоча камера), 7,8-каруселі підкладок і масок , 9-випарник, 10-гумове ущільнення, 11-переносні прилади, 12-зварної сталевий каркас, 13-пульт управління, 14-обертальний механічний насос, 15-блок клапанів, 16-трубопроводи
Підставою встановлення служить зварної сталевий каркас, закритий металевими панелями і панелями пульта управління. Ковпак з подколпачним пристроєм розташований на верхній панелі (стільниці) і являє собою герметичну, з нержавіючої сталі, відкриту знизу конструкцію, яка вакуумно-щільно з'єднується з базовою плитою гумовим ущільненням. Для спостереження за процесом напилення в ковпаку є оглядові вікна. Під ковпаком на базовій плиті розміщений поворотний механізм з обертовими каруселями підкладок і масок, а також випарник. p align="justify"> Вакуумна система установки призначена для створення розрідження під ковпаком і складається з обертального механічного та паромасляного насосів, вакуумного затвора, блоку клапанів, трубопроводів, а також спіральної азотної пастки, в яку автоматичним живильником подається з посудини Дьюара рідкий азот .
Всі вакуумні системи мають однаковий порядок включення на відкачування. Спочатку включають механічний насос, який відкачує систему до тиску 1,3 * 10 -1 Па, а потім паромасляних, який створює тиск до 10 -3 Па. Для створення більш високого вакууму використовують азотну пастку, пропускаючи через неї рідкий азот.
На пульті управління зосереджені контрольні прилади і прилади керування (кнопки, с...
