азмещения промислових предприятий и в ЖИТЛОВО зонах. У Останні роки все більш ШИРОКЕ Поширення отримуються мобільні СТАНЦІЇ контролю якості атмосферного Повітря, для оснащення якіх необхідні недорогі портативні газоаналізаторі.
Актуальною є проблема Вивчення процесів на поверхні датчика з метою досконало зрозуміті їх природу. Це в свою черго поможет покращіті їх технічні характеристики. Метою даної роботи є Дослідження впліву Деяк Речовини на ВАХ сенсорних структур на Основі гетеропереходи.
1. Методи создания селективних сенсорів
Основним підходом до побудова сенсорних систем, что володіють селектівністю, є создания матриць Із сенсорів, шкірні з Який має скроню чутлівістю до якого-небудь визначеного газу. При цьом Реакція елемента сенсорної матріці на «Не свой» газ винна буті Мінімальна. Відкалібрувавші КОЖЕН сенсор на концентрацію газу, что ВІН повинною «відчуваті», можна здобудуть систему что дозволяє візначаті склад газового середовища для Суміші визначених компонентів. Такий матричний сенсор буде «відчуваті» стількі газів, Скільки ВІН має ЕЛЕМЕНТІВ. Одержании вісокої селективності до заданого газу для шкірного елемента теж є не простим завданням. Такоже звітність, Забезпечувати скроню Стабільність характеристик шкірного елемента ПРОТЯГ ЕКСПЛУАТАЦІЇ. Тому останнім годиною активно розробляються методи пов язані з матрицею сенсорів что складаються з великого числа (кілька десятків) ЕЛЕМЕНТІВ, что розрізняються за Якими-небудь властівостямі або параметрами чутлівого кулі [5-6], при цьом Вимога вісокої селективності окрем елемента до конкретного газу знімається . Подібна сенсорна матриця має Унікальний набор опорів почти для будь-яких навколішніх СЕРЕДОВИЩА, что Достатньо різняться своими складами, за рахунок того, что хочай КОЖЕН елемент реагує практично на ВСІ газов, его Реакція при цьом відрізняється від Реакції других ЕЛЕМЕНТІВ. Конструкція з великим числом сенсорів дозволяє боротися з дрейфом характеристик. Йо можна унікнуті, ЯКЩО враховуваті НЕ абсолютні Значення опору, а Опір віднормованій до СЕРЕДНЯ для всіх ЕЛЕМЕНТІВ матріці.
Для ідентіфікації складу газового середовища, что оточує сенсор, сигналі Які отримуються при роботі з багатоелементному сенсорами звітність, Деяк чином обробляті. Обробка сігналів Полягає у встановленні кореляції между сигналом на віході сенсорної системи и складом навколішньої атмосфери.
Альтернативою матричний сенсорам віступають сенсори з температурним програмування [7]. Використання температурного програмування, что Полягає в ціклічній зміні температури чутлівого кулі сенсора, дозволяє делать селекцію газів помощью одного чутлівого елемента на Основі АНАЛІЗУ его дінамічніх характеристик. Принцип селекції Заснований на тому, что Різні газов мают Різні Швидкості адсорбції, Реакції и десорбції на поверхні для кожної температури. Це є причиною того, что при одній и тій же залежності Зміни температури сенсора, зміна его опору при різніх складах навколішньої газового середовища повинною буті різнім. Очевидна перевага описування підходу - его гнучкість. Змінюючі залежність температури від годині можна змінюваті селективність сенсора до навколішньої газового середовища.
1.1 Механізм роботи газового сенсора
Ефект залежності провідності плівкі напівпровідніковіх окс...
