Дослідження впліву Зміни оточуючого газового середовища на Основі гетеропереходів
Вступ
експресності аналіз складу газового середовища є актуальною науково-технічною задачею, что может буті вірішена путем Використання нового класу пріладів - мініатюрніх газових датчіків адсорбційно-напівпровіднікового типу на Основі тонких плівок окіслів металів. Застосування з цією ціллю напівпровідніковіх матеріалів Засновано на характері Зміни їхньої електропровідності в залежності від природи и концентрації домішки, что адсорбується поверхнею напівпровідніка з НАВКОЛИШНЬОГО середовища. Водночас, питання відтворюваності властівостей при одержанні та нестабільність у работе плівковіх чутлівіх ЕЛЕМЕНТІВ є серйозною проблемою.Більше їх широкомасштабного! Застосування. Зміна електропровідності полікрісталічного напівпровідніка при его взаємодії з газовим СЕРЕДОВИЩА відбувається Завдяк процесам, что мают місце На межі поділу напівпровідніка и газової Фазі.
Дослідження впліву адсорбції газів та електрофізічні характеристики напівпровідніків, розпочаті ще в 40-х роках минуло століття у зв'язку з розвитку напівпровіднікової техніки, поставили и зворотнє Завдання - детектуваті газові домішки Щодо Зміни електрофізичних характеристик напівпровідніка. Однак, на Відміну Від Швидкого Впровадження напівпровідніковіх пріладів в УСІ Галузі науки и техніки, шлях напівпровідніковіх сенсорів від лабораторних розробок до серійніх датчіків газоаналізаторів оказался незрівнянно Довгим. Значні успіхі були досягнуті в роботах под керівніцтвом І.А. Мяснікова (НІФХІ ім. Л.Я. Карпова) з Вивчення елементарних фізико-хімічних процесів, что протікають на поверхні напівпровідніковіх оксидів металів, и Використання напівпровідніковіх сенсорів як вісокочутлівіх датчіків у фізико-хімічних дослідженнях. Результати більшості ціх робіт узагальнені в [1].
У ціх дослідженнях вікорістовуваліся сенсори унікальніх конструкцій, віготовлені в лабораторних умов в одінічніх екземпляр. Паралельно и Переважно за кордоном розвівався прикладними напрямок - создания напівпровідніковіх сенсорів для АНАЛІЗУ газових домішок у повітряних СЕРЕДОВИЩА и розробка ПРОМИСЛОВОЇ технології їх серійного виготовлення [2-3]. Результатом ціх робіт ставши промисловий випуск Деяк тіпів сенсорів. Основними Виробнику металооксидних напівпровідніковіх сенсорів є англійська фірма «City Technology и японська фірма« Figaro Inc ».
Найважлівіша проблема напівпровідніковіх сенсорів це низька селективність. Однак їхні ПЕРЕВАГА - висока чутлівість, швідкодія, мініатюрність, невелика ВАРТІСТЬ при масовому ВИРОБНИЦТВІ, - роблять ЦІ сенсори Дуже Привабливий для Використання їх як датчіків газоаналітічніх пріладів. Що ж до селективності напівпровідніковіх сенсорів, то з метою ее Підвищення ведуться Активні Дослідження, и Стосовно до багатьох завдань газового АНАЛІЗУ Способи Вирішення цієї проблеми знайдені [3-4].
Перспективними Галузь застосування пріладів на базі напівпровідніковіх сенсорів є визначення в атмосфері, в тому чіслі трівалій моніторинг, хімічно активних малих газових прімісів на станціях спостереження фонового складу атмосфери (в відсутність антропогенних вікідів) i контроль якості Повітря в районах р...
