005957001.146188001.18672
Таблиця 2 - Протокол напилення зразків Рідкофазний магнетроном без додаткової магнітної системи (15 см)
Параметри напиленіяd, смt1, ct2, cPраб, Па15 320240 (800 B) 60 30 (800 B) 2 * 10-5 мВтНапиленіеР, ВтI, AU, B5000.786536000.857127000.957388001.09742
Таблиця 3 - Протокол напилення зразків Рідкофазний магнетроном без додаткової магнітної системи (13 см)
Параметри напиленіяd, смt1, ct2, cPраб, Па13320602 * 10-5 мВтНапиленіеР, ВтI, AU, B5000.796376000.926507001.08651
Наведемо графіки залежності струму і напруги від потужності (див. малюнки 23 -24). Дані з отриманих графіків будуть використовуватися для визначення швидкості осадження покриттів і розрахунку коефіцієнта ерозії поверхні мішені в програмі для розрахунку для розрахунку швидкості ерозії і осадження плівок. br/>В
Малюнок 23 - Завісімостьтока від потужності для тонкоплівкових покриттів свинцю.
В
Малюнок 24 - Залежність напруги від потужності для тонкоплівкових покриттів свинцю.
Дані значення необхідні для отримання теоретичних результатів: швидкість осадження, коефіцієнт ерозії поверхні мішені. Після розрахунків отримані теоретичні результати будуть зіставлені з експериментальними. br/>
5.2 Вимірювання товщини тонкоплівкових покриттів за допомогою
профілометра марки 130
Для вимірювання товщини тонких плівок свинцю використовувався профілометр марки 130.Ніже наведено графічне представлення результатів. На малюнку 25 представлено результат вимірювання товщини плівки свинцю з використання додаткової магнітної системи. Параметри експерименту: відстань до підкладки: 15 см, Р відкачування = 3 * 10-7 мВт, Р аргону = 2 * 10-5 мВт, стабілізація за потужністю: 500 Вт, вихід на режим: 5 хвилин 20 секунд, час напилення: 1 хвилина, I = 0,9 А, U = 560 В, товщина 6,88 мкм, швидкість напилення 14,7 нм/с.
В
Малюнок 25-Ізображеніефрагмента робочої програми для профілометра поверхні зразка № 2, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему.
В
Малюнок 26 - Профіль поверхні зразка № 2, отриманого за допомогою магнетрона з жідкометалліческім мішенню, використовуючи додаткову магнітну систему (відстань мішень підкладка 15см).
Після вимірювання товщини даної плівки (зразок № 2) методом сходинки з'ясувалося, що вона склала 6.88 мкм.
На малюнку 27 також вимірювання товщини свинцевої плівки, але вже без додаткової магнітної системи. Параметри експерименту: відстань до підкладки: 15 см, Р відкачування = 3 * 10-7 мВт, Р аргону = 2 * 10-5 мВт, стабілізація за потужністю: 600 Вт, вихід на режим: 5 хвилин 20 секунд, час напилення:...
