шлях - розробка такої геометрії джерела, яка обумовлює нанесення рівномірної по товщині плівки на нерухому або переміщається по найпростішої траєкторії (наприклад, лінійно) підкладку, але коаксіальним розташуванням щодо циліндричного катода.
Таким чином, в магнетронних розпилювальних системах вибором геометрії мішені можна забезпечити умови нанесення рівномірних по товщині плівок на нерухомі підкладки. Для досягнення високої рівномірності можна використовувати і звичайні планетарні внутрішньокамерна пристрої, застосовувати спеціальні профільовані екрани при лінійному переміщенні підкладок щодо магнетронній системи або створювати кілька зон розпилення на мішені.
В даний час відомо безліч конструктивних варіантів магнетронних розпилювальних систем, але найбільшого поширення в промисловості набули системи з мішенями конічної і плоскої форм. Конструкції магнетронних систем повинні забезпечувати високу швидкість розпилення, мінімальне негативний вплив на оброблювані структури, високий коефіцієнт використання матеріалу мішені, можливість розпилювання різноманітних матеріалів, нанесення плівкових покриттів набольшие площі з мінімальною нерівномірністю по товщині, високу надійність роботи, великий термін служби та ін Більшість цих вимог задовольняється правильним вибором конструкції магнітної системи і форми мішені.
Малюнок 1.10 - Конструкції магнетронних розпилювальних систем з плоскими мішенями: 1 - мішень; 2 - анод; 3 - магнітна система; 4 - додатковий електрод; 5 - полюсні наконечники.
Типові конструкції магнетронних розпилювальних систем з плоскими мішенями наведено на рис. 1.10. У простому випадку (рис. 2.3, а) система включає в себе магнітний блок, вмонтований у водоохолоджуваний корпус, який є одночасно і власником мішені. Навколо корпусу розташовується анод у вигляді циліндра або мідної трубки з проточною водою, встановленої по периметру мішені поблизу її. Анод зазвичай заземлюється. Для більш повного усунення бомбардування підкладок вторинними електронами катодний блок оточується заземленим екраном, а по периметру мішені і в центрі встановлюються ізольовані аноди, що мають невеликий (до 50 В) позитивний потенціал щодо землі. Аноди перекривають місця входу і виходу силових ліній магнітного поля і уловлюють розсіюється уздовж силових ліній вторинні електрони, залишаючи відкритою тільки ту область мішені, де силові лінії паралельні розпилюється поверхні і швидкість розпилення максимальна (рис. 1.10). Екранування слабо розпилюються ділянок мішені покращує властивості одержуваних плівок.
При виготовленні чутливих до радіаційного впливу приладів доцільно додатково вловлювати летять у бік підкладки іони, які, наприклад, можуть утворитися в результаті іонізації розпорошених атомів мішені. У цьому випадку над поверхнею позитивного анода встановлюється додатковий негативний електрод (рис. 2.3, в). На рис. 2.3, г представлена ??конструкція магнетронній розпилювальної системи, що використовує мішень спеціальної форми. Це дозволяє розпорошувати досить товсті мішені. Після розпилення половини матеріалу мішені вона перевертається і виробляється розпорошення решті частини, що забезпечує підвищення коефіцієнта використання матеріалу мішені до 90%.
Одержання високоякісних тонкоплівкових шарів металів, сплавів, діелектриків і напівпровідників є одним із актуальни...
