они забезпечують, обмежені, в якості
джерела випромінювання часто використовують одночастотний лазер, зрушуючи
частоти ортогональних складових його випромінювання акустооптичні-
ми модуляторами, які встановлюють на вході, виході або в од-
ном з плечей інтерферометра. У цьому випадку опорний сигнал
I0 може бути отриманий безпосередньо з модулюють сигналів,
подаються на акустооптичні модулятори.
Частота частотної модуляції, аналогічно частоті фазової модуляції, обмежує час вимірювання. Однак при використанні акустооптичних модуляторів вона може бути встановлена ​​досить великий, щоб цим обмеженням можна було знехтувати. Тоді час одноразового вимірювання фази визначається часом затримки фазоізмерітельного пристрої та становить для сучасних ЛИС близько 10 мкс.
Так як ЛИС на основі частотної модуляції забезпечують час вимірювання на порядок менше, ніж ЛИС на основі фазової модуляції,
допустимі швидкості зміни ГРХ в них на порядок вище. Ці ЛИС
вважаються більшою мірою придатними для високоточних вимірювань в реальному масштабі часу. При рівній похибки вони мають дещо більший діапазон виміру ГРХ. p> На основі методів прямого вимірювання фази розробляють ЛИС для вимірювання повільно мінливих в часі і незначних за величиною відстаней з високою точністю. Основна область застосування таких ЛИС - контроль профілю і шорсткості поверхонь, в тому числі оптичних. Інша велика сфера застосування - інтерференційні датчики фізичних величин, зміна яких можна перетворити в зміна еометріческой або оптичної різниці ходу інтерферуючих променів (тиск і вологість атмосфери, температура, напруженість електричного і магнітного полів та ін.)
Частотну модуляцію інтерференційного сигналу забезпечують шляхом суперпозиції двох хвиль різної оптичної частоти. У цьому випадку закон зміни інтенсивності має вигляд
(4)
де I1 і I2 - інтенсивності,? 1 і? 2 - оптичні частоти,? 1 і? 2 - фази интерферирующих хвиль.
Всі змінні складові сигналу (4), крім останньої, внаслідок високої частоти не можуть бути детектировать фотоприймачем безпосередньо.
Вибираючи близькі оптичні частоти интерферирующих хвиль, отримують частоту? b =?? 1 -?? 2 останньою складової, зручну для обробки в фотоелектронній системі. Цю частоту називають сигналом биття. p> Особливість сигналу биття в тому, що навіть у відсутність зміни ГРХ між интерферирующими хвилями інтенсивність змінюється за гармонійним закону. Якщо одна з інтерферуючих хвиль проходить додатковий геометричний шлях 2L, то сигнал биття отримує додатковий фазовий зсув? =?? L /?, Еквівалентний фазі немодульованого інтерференційного сигналу на довжині хвилі? при
ГРХ інтерферують променів, рівної 2L.
Щоб визначити ГРХ, вимірюють фазовий зсув (рис. 3б)
? (t) =??? t *? b
між опорним і вимірювальним сигналами биття:
I0 (t) = A0 * COS [2? (? 1 -?? 2) t + (? 1 -? 2)],
(...
