о вирішення поставлених завдань  
 Завдання, відповідні цілі даної роботи: 
  1. Проаналізувати сучасні проблеми і напрямки розвитку мікроелектроніки. 
  2. Виявити основні перспективи розвитку мікроелектроніки 
 . Розглянути основні положення та принципу мікроелектроніки. 
 . Виявити нові динамічні технології. 
 . Проаналізувати перспективи розвитку мікроелектроніки. 
				
				
				
				
			  Об'єкт дослідження даної роботи буде мікроелектроніка і нова швидко розвивається технологія. 
  У цій роботі використовувалися методи дослідження: метод аналізу і синтезу, метод індукції і дедукції. 
   1. Теоретичні основи мікроелектроніки 
   .1 Історія розвитку мікроелектроніки 
   Мікроелектроніка є продовженням розвитку напівпровідникової електроніки, початок якої було покладено 7 травня 1895, коли напівпровідникові властивості твердого тіла були використані О.С.Поповим для реєстрації електромагнітних хвиль. 
  Подальший розвиток напівпровідникової електроніки пов'язаний з розробкою в 1948 році точкового транзистора (американські вчені Шоклі, Бардін, Браттейн), в 1950 році - площинного біполярного транзистора, а в 1952 році польового (униполярного) транзистора. Поряд з транзисторами були розроблені і стали широко використовуватися інші різні види напівпровідникових приладів: діоди різних класів і типів, варистори, варикапи, тиристори, оптоелектронні прилади (світловипромінюючі діоди, фотодіоди, фототранзистори, оптрони, світлодіодні і фотодіодние матриці) [5].  p> 
 Створення транзистора стало потужним стимулом для розвитку досліджень у галузі фізики напівпровідників і технологій напівпровідникових приладів. Для практичної реалізації розвивається напівпровідникової електроніки знадобилися надчисті напівпровідникові та інші матеріали і спеціальне технологічне і вимірювальне обладнання. Саме на цій базі стала розвиватися мікроелектроніка. p align="justify"> Слід зазначити, що основні принципи мікроелектроніки - груповий метод і планарная технологія - були освоєні при виготовленні транзисторів у кінці 50 років. 
  Перші розробки інтегральних схем (ІС) відносяться до 1958 - 1960г.г. У 1961 - 1963г.г. ряд американських фірм почали випускати найпростіші ІС. У той же час були розроблені плівкові ІС. Однак деякі невдачі з розробками стабільних по електричних характеристиках плівкових активних елементів призвели до переважної розробці гібридних ІС. Вітчизняні ІС з'явилися в 1962 - 1963г.г. Перші вітчизняні ІС були розроблені в ЦКБ Воронезького заводу напівпровідникових приладів (схеми діод-транз...