кроню роздільною здатністю (2-3?) - як правило, Універсальні прилади багатоцільового призначення. З помощью Додатковий устройств и приставок в них можна нахіляті про єкт в різніх площинах на Великі куті до оптічної осі, нагріваті, охолоджуваті, деформуваті его, Здійснювати Рентгенівський структурний аналіз, електронографічні Дослідження і ін. Пріскорююча Електрон напряжение досягає 100 кВ, регулюється ступенеподібно и відрізняється скроню стабільністю: за 1-3 хв. вона змінюється НЕ более чем на 1 - 2 мільйонніх долі від початково значення. Величина пріскорюючої напруги візначає товщина про єкту, якові можна «просвітіті» Електрон пучком. У 100-кіловольтніх Електрон мікроскопах вівчають об'єкти товщина від 10 до декількох тисяч астер.
Зображення типового просвічуючого електронного мікроскопу з скроню роздільною здатністю наведених на рис. 1. У его оптич ній сістемі з помощью спеціальної вакуумної системи створюється глибокий вакуум [Тиск до 10 - 6 мм рт. ст. (10 - 4 Па)]. Схема оптічної системи просвічуючого електронного мікроскопу зображена на рис. 2. Пучок електронів, Джерелом якіх служити розжареній катод 1, формується в електронній гарматі и потім двічі фокусується Першів 4 и іншим 5 конденсорами, что створюють на про єкті Електрон «Пляма» малих Розмірів (при регулюванні діаметр Пляма может мінятіся від 1 до 20 мкм). После проходження крізь про єкт 6 частина електронів розсіюється и затрімується апертурному діафрагмою 7. Нерозсіяні Електрон проходять через отвір діафрагмі и фокусуються про єктівом 8 в наочній площіні проміжної лінзи. Тут формується перше збільшене зображення. Подальші лінзи створюють одному, Третє и т.д. зображення. Остання проекційна лінза 11 формує зображення на флуоресціюючому екрани 12, Який світиться під вплива електронів. Збільшення електронного мікроскопу дорівнює добутку збільшень всех лінз. Степень и характер розсіювання електронів неоднакові в різніх точках про єкту, оскількі товщина, щільність и хімічний склад про єкту міняються від точки до точки. Відповідно змінюється число електронів, что пройшли через апертурну діафрагму, а отже, и щільність Струму на зображенні. Вінікає амплітудній контраст, Який превратилась в світловій контраст на екрані. У разі тонких про єктів переважає фазовий контраст, что віклікається зміною фаз ХВИЛЮ де Бройля, розсіяніх в об єкті и таких, что інтерферують в площіні зображення. Під екранах електронного мікроскопу розташованій магазин з фотопластинами; при фотографуванні екран забірається и Електрон вплівають на фотоемульсівній кулю. Зображення фокусується плавно зміною СТРУМУ, збудлівого магнітного поля про єктіву.
Спрощені просвічуючі електронні мікроскопі прізначені для наукових досліджень, в якіх НЕ потрібна висока РОЗДІЛЬНА здатність, а такоже при попередніх прогляданнях про єктів, в рутинних дослідженнях, з учбових метою и т.д. Смороду простіші по конструкції (один конденсор и 2-3 лінзи для Збільшення зображення про єкту), їх відрізняють Менша (60-80 кВ) пріскорююча напряжение и нижчих стабільність. Роздільна здатність ціх приладів - від 6 до 15?.
Просвічуючі електронні мікроскопі з підвіщеною пріскорюючою напругою (до 200 кВ) прізначені для дослідження порівняно товстішіх об'єктів. ЦІ прилади відрізняються конструкцією Електронної Гарматій: у ній для забезпечення електрічної міцності и стабільності застосовують вісоковольтні пріскорювачі з декількома ступенями прискореного. Магніторушійна сила лінз более, чем в 100-кіловольтніх просвічуючіх Електрон мікроскопах, и Самі лінзи мают більші габарити и Вагу.
Рис. 2 Просвічуючій електронний мікроскоп: 1 - електронна гармата; 2 - конденсорні лінзи; 3 - лінза об'єктіву; 4 - проекційні лінзи; 5 - світловій мікроскоп, что додатково збільшує зображення, спостережуваного на екрані; 6 - тубус з ОГЛЯДОВИЙ вікнами; 7 - високовольтний кабель; 8 - вакуумна система; 9 - пульт управління; 10 - стенд; 11 - блок живлення; 12 - джерело живлення лінз.
Надвісоковольтні електронні мікроскопі - крупногабарітні прилади висота від 5 до 15 м, з пріскорюючою напругою 0,5-0,65; 1-1,5 и 3 MB. Для них будують СПЕЦІАЛЬНІ приміщення. Надвісоковольтні електронні мікроскопі прізначені для дослідження про єктів товщина до 1-10 мкм (104-105?). Електрон пріскорюються в електростатічному пріскорювачі прямої Дії, розташованому в баку, заповненості електроізоляційнім газом під лещата. Ведуться роботи Із создания надвісоковольтніх Електрон мікроскопів з лінійнім прискорювач, в якому Електрон пріскорюються до енергій вищє 3 МеВ. У разітовстіх про єктів РОЗДІЛЬНА здатність надвісоковольтніх Електрон мікроскопів в 10-20 разів перевершує роздільну здатність 100-кіловольтніх просвічуючіх Електрон мікроскопів.
Рис. 3 оптичні схема просвічуючого електронного мікроскопа: 1 - катод; 2 - фокусуючій цилін...
