top>
Переваги
Недоліки
Тензометричний (КНС-перетворювачі)
1. Висока Спен захисту від агресивного середовища.
2. Високий межа робочої температури.
3. Налагоджено серійне виробництво. p> 4. Низька вартість. /Td>
1 Неусувна нестабільність градуіровачной характеристики. p> 2. Високі гістерезисні ефекти від тиску і температури. p> 3. Низька стійкість при впливі ударних навантажень і вібрацій.
п'єзорезистивного (на монокристаллическом кремнії)
1. Висока стабільність характеристик.
2. Стійкість до ударних навантаж-ам і вібрацій.
3. Низькі (практично відсутні) гістерезисні ефекти.
4. Висока точність. p> 5. Низька ціна. p> 6. Можливість вимірювати. тиск різних агресивних засобів.
1. Обмеження по температурі (до 150 Вє C). /Td>
Ємнісної
1. Висока точність.
2. Висока стабільність характе-теристик.
3. Можливість вимірювати низький вакуум.
4. Простота конструкції
1. Найчастіше, нелінійна за-лежність ємності від прило женного тиску.
2. Необхідно додаткове обладнання або електричок схема для перетворення ємнісний залежності в один з стандартних вихідних сигналів.
Резонансний
1. Висока стабільність характеристик.
2. Висока точність вимірювання тиску. арам
1. При вимірі тиску агресивних середовищ необхідно захистити чутливий елемент, що призводить до втрати точності вимірювання.
2. Висока ціна.
3. Тривалий час відгуку.
4.Індівідуальная характеристика перетворення тиску в електричний сигнал.
Індукційний
1. Можливість вимірювати диференціальні тиску з високою точністю
2. Незначний вплив температури на точність вимірювання
1. Сильний вплив магнітного поля
2. Чутливість до вібрацій і уд
В В В
Різні сфери застосувань визначають свої вимоги до датчиків: для промисловості - надійність і стабільність характеристик, для лабораторних вимірювань і витратометрії - точність вимірювання тиску і т.д. Ще одним важливим параметром є ціна датчиків, які використовують той чи інший принцип перетворення тиску. Тому при виборі перетворювача необхідно визначити найбільш вигідний варіант - співвідношення ціни до можливостей приладу. Очевидно там, де потрібно тільки якийсь певний параметр датчика (наприклад, точність або можливість вимірювати вакуум) співвідношення ціни до пропонованим вимогам високе. В основному це стосується резонансних, індукційних, ємнісних і іонізаційних датчиків.
У більшості випадків потрібно кілька параметрів перетворювачів: точність, стабільність вихідних характеристик, надійність, довговічність, низька ціна. Таким вимогам, як видно з вищенаведеної таблиці, задовольняють п'єзорезистивного датчики тиску та КНС-перетворювачі. Вибравши КНС-перетворювачі, ви отримаєте надійні датчики працюють при високих температурах (понад 1500 Вє С), однак втрачаєте в точності і стабільності вихідних характеристик, порівняно з перетворювачами на монокрісталлічеком кремнії. Оскільки в основному потрібна висока стабільність вихідних характеристик при невисоких температурах, то інтегральні перетворювачі тиску є в цьому випадку оптимальним рішенням, при невисокій ціні.
3. Переваги інтегральних механоелектричного перетворювачів
Переваги інтегральних механоелектричного перетворювачів в порівнянні з традиційними:
- монолітна конструкція перетворювачів вирішує проблему складність і високу вартість процесу установки і закріплення мініатюрних пружних елементів (мембран, балок і т.д.), оскільки пружний елемент виконаний з масивним підставою;
- тензочутливі елемент є невід'ємною частиною пружного елемента перетворювача, представляючи собою всього лише область або сукупність областей різного типу провідності і з різним ступенем легування домішок, отриманої або дифузією, або іонною імплантацією, або епітаксії з допомогою планарної технології. Це виключає проміжний, наприклад з'єднувальн...
