ьому диференціювання здійснюється електричними методами безпосередньо в процесі запису спектра.
Енергоаналізатори оже-електронів
У оже-спектроскопії атоми збуджують електронним, фотонним (рентгенівським) і іонним пучками, відповідно розрізняють електронну (ЕОС), рентгенівську (РІС) і іонну (ІОС) оже-спектроскопію. Реєстрація оже-спектрів проводиться за допомогою оже-спектрометрів, близьких по конструкції в випадку ЕОС, РОС, і ИОС (рис. 3). p> Рис. 3. Блок-схема оже-спектрометра: 1 - джерело первинних частинок (електронів, фотонів, іонів), 2 - досліджуваний зразок; 3 - іонна гармата для для прослойного розпилення зразка; 4 - енергетичний аналізатор електронів, 5 - система реєстрації та обробки даних. Пунктиром обведена вакуумна частина приладу.
Ісследумий зразок поміщають у вакуумну (до 10 -11 Мм рт.ст.) камеру і опромінюють електронними пучками первинних частинок, джерелами яких служать електронна гармата, рентгенівська трубка і іонна гармата; вони повинні забезпечувати потоки часток, інтенсивність яких достатня для емісії оже-електронів в кількості, надійно реєстроване вимірювальною апаратурою. Електронні та іонні пучки легко фокусуються, їх можна розгорнути в растр по поверхні зразка (скануючі оже-спектрометри), що дозволяє вивчати розподіл по поверхні зразка атомів різних хімічних елементів з високим просторовим дозволом (~ 30 нм). Рентгенівський парасоля має мінімальний діаметр ~ 150 мкм, скануюча РОС поки не використовується.
Основний вузол оже-спектрометра - енергоаналізатор оже-електронів. Найчастіше використовується електро-статичні аналізатори з поздовжніми і поперечними енергетичними полями (рис. 4). У аналізаторах першого типу напряму електричного поля і руху електронів збігаються. До цього типу аналізаторів відноситься багатосітковим аналізатор з гальмуючим полем (Рис. 4, а); в ньому максимальна енергія електронів, що потрапляють на колектор аналізатора, визначається за затримують потенціалу на сітках 3.
Рис. 4. Енергоаналізатори оже-електронів з поздовжнім (а) і поперечним (б, в, г, д) електричними полями: а - четирехсеточний аналізатор з гальмуючим полем; б - 127-градусний аналізатор Юза - Рожанська; в, г - плоскі, циліндричні дзеркала; д - сферичний дефлектор. 1 - джерело первинних частинок; 2 - зразок; 3 - електроди аналізатора - Сітки (а), циліндричні (б, г), плоскі (в), сферичні (д) поверхні; 4 - колектор електронів - сферичний електрод (а) або електронний помножувач (б, в, г, д).
У аналізаторі другого типу (з дисперсією по енергії) електрон рухається в поперечному електричному полі по колу, радіус якої залежить від його енергії (рис. 4, б, в, г, д). Виділивши за допомогою діафрагм траєкторію певного радіуса і реєструючи струм електронів, що рухаються по цій траєкторії в залежності від напруженості електричного поля (змінюючи різницю потенціалів між зовнішніми і внутрішніми електродами 3 аналізатора), вимірюють розподіл електр...
