орвакуумной відкачування криогенного насоса. Для форвакуумной відкачування криогенного насоса, робочої камери і шлюзів служить двороторний агрегат, над яким розташована азотна пастка.
При роботі установки в автоматичному режимі включаються агрегат форвакуумной відкачування і азотна пастка на форвакуумной магістралі. При закритому високовакуумними затворі включається також форвакуумним відкачка порожнини криогенного насоса (відкриті форвакуумним клапани кріонасоса і загальний). При тиску в порожнині криогенного насоса 6,7 Па (5? 10? 2 мм рт. Ст.) Його форвакуумним і загальний клапани закриваються, запускається форвакуумним відкачка робочої камери і включається сам криогенний насос.
Після запуску форвакуумной відкачування робочої камери при закритому високовакуумними затворі відкриваються затвори шлюзів, відповідні форвакуумним клапани, а також загальний форвакуумний клапан і відкачка йде через затвори шлюзів. При заданому тиску форвакуумним відкачка робочої камери автоматично припиняється, затвори шлюзів закриваються, відсікаючи їх від робочої камери. Одночасно закриваються клапани форвакуумной відкачування шлюзів. Криогенний насос виходить на робочий режим протягом 70 хв після включення. Після закінчення цього часу відкривається високовакуумний затвор і робоча камера відкачується криогенним насосом до високого вакууму.
Далі починається робочий цикл установки, при якому підкладки з касети шлюзу завантаження почергово укладаються на конвеєр без розриву їх ряду. Рухаючись разом з конвеєром, підкладки проходять очистку в пристрої ВЧ-травлення, нагріваються з тильного боку, опиняючись над нагрівачем 12, і за допомогою магратронов на них наноситься плівка. Потужність кожного магратрона, а отже, і товщину наносяться шарів можна регулювати окремо. Після нанесення плівок підкладки автоматично укладаються в приймальню касету у шлюзі вивантаження.
Коли остання підкладка з шлюзу завантаження потрапляє на конвеєр, касета автоматично опускається вниз, затвор шлюзу завантаження закривається, відсікаючи його від робочої камери. Після цього в шлюз завантаження напускається газ до атмосферного тиску, надходить команда про заміну порожній касети касетою з новою партією підкладок і оператор закриває двері шлюзу. Шлюз через два форвакуумних клапана починає откачиваться до тиску 1,3 Па (10? 3 мм рт. Ст.), Потім закриваються форвакуумним клапани, відкривається затвор шлюзу і починається подача підкладок на конвеєр.
Під час перевантаження касет (протягом 2-4 хв) і подальшої відкачування шлюзу конвеєр продовжує рухатися, але підкладки, природно, на нього не надходять. Таким чином на конвеєрі утворюється розрив ряду рухомих підкладок. Коли цей розрив підходить до шлюзу вивантаження, автоматично подається команда про закінчення вивантаження і закривається затвор шлюзу вивантаження. У шлюз вивантаження напускається повітря до атмосферного тиску і включається сигналізація про необхідність провести перевантаження. Оператор відкриває дверцята шлюзу, виймає касети з пластинами, ставить порожню приймальню касету і закриває двері. При цьому шлюз через два форвакуумних клапана відкачується до тиску 1,3 Па (10? 2 мм рт. Ст.). Потім закриваються форвакуумним клапани, відкривається затвор шлюзу вивантаження, який виявляється підготовленим до прийому чергової партії підкладок, і робота установки триває.
При відмові мікропроцесорної системи управління роботу на установці можна довести до кінця в ручному режимі.
технологічний тонкоплівковий вакуумний обложений
2. Нанесення тонких полонік. Основні відомості
Всі речовини в залежності від температури нагріву можуть перебувати в одному з трьох фазових (агрегатних) станів - твердому, рідкому або газоподібному (пароподібному). Випаровування, тобто перехід речовини в пароподібний стан, відбувається, коли з підвищенням температури середня коливальна енергія його частинок зростає настільки, що стає вище енергії зв'язку з іншими частками і вони покидають поверхню (випаровуються) і поширюються у вільному просторі.
Умовною, практично встановленої температурою випаровування вважається температура, при якій тиск насиченої пари речовини становить приблизно 13 Па.
Температури плавлення і випаровування найбільш важливих елементів наведено в табл. 1.
Таблиця 1
Температури плавлення і випаровування елементів
З цієї таблиці видно, що умовна температура випаровування більшості елементів вище їх температури плавлення, т. е. випаровування відбувається з жид кого стану. Деякі речовини мають умовну температуру випаровування нижче температури плавлення, т. Е. Вони досить інтенсивно випаровуються з твердого ста...
