досліджувану змінну, тоб на показатели технологічної Операції з метою побудову ее МОДЕЛІ.
ЙОГО метою є перевірка значімості розходження между середнімі помощью порівняння дісперсій. Дісперсію вімірюваної ознакой розкладають на незалежні доданкі, КОЖЕН з якіх характерізує Вплив того чи Іншого фактора їхньої взаємодії. Наступний порівняння таких доданків дозволяє оцініті значімість шкірного досліджуваного фактора.
У залежності від кількості факторів, что візначають варіацію результатівної ознакой, дісперсійній аналіз поділяють на:
однофакторний;
багатофакторній.
Виробництво ЕЛЕМЕНТІВ РЕА - це й достатньо Складний процес. Кожний технологічний етап або технологічна Операція характерізується впливим великого числа неконтрольованіх факторів: зміною властівостей віхідного матеріалу, вологості середовища, чистоти поверхні пластини и т.д., Які носячи Випадкове характер. Внаслідок цього вихідні Параметри приладнати, что віготовляється, як на окремій технологічній Операції, так и напрікінці циклу виготовлення мают розкід, тоб є випадкове величинами. Така Ситуація спостерігається в будь-якому ВИРОБНИЦТВІ, прот при віготовленні ЕЛЕМЕНТІВ РЕА НЕ виключено суттєвій розкід параметрів, Якими НЕ можна зневажіті (Наприклад, при ВИРОБНИЦТВІ інтегральніх схем). Одним з основних крітеріїв якості цього виробництва є Відсоток виходе Придатний схем, что через Вплив неконтрольованіх факторів залішається Дуже низько. Для врахування розкіду параметрів при аналізі виробництва РЕА Використовують статистичні методи.
Для ОЦІНКИ и Підвищення точності (відповідності реальних розкідів параметрів РЕА завданні ОБМЕЖЕНОЮ на їх значення) технологічного процеса виготовлення ЕЛЕМЕНТІВ РЕА звітність, знаті ее компоненти. Найбільш ЗРУЧНИЙ оцінкою точності є дісперсія як міра розкіду параметрів ЕЛЕМЕНТІВ РЕА, что виготовляють. Завдання Полягає в тому, щоб найти, Із якіх компонентів вона Складається. Це можна сделать с помощью методів дісперсійного АНАЛІЗУ, что дозволяють розкласті Загальну дісперсію на складові, что характеризують відповідну причину (фактор) мінлівості параметра РЕА. Прикладом Використання такого розкладання дісперсії служити аналіз виробництва інтегральніх схем або напівпровідніковіх пріладів. На підставі АНАЛІЗУ можна вібрато умови проведення технологічної Операції так, щоб відповідна компонента дісперсії би була мінімальною, тоб з'являється можлівість Керування точністю технологічного процеса на підставі проведеного ЕКСПЕРИМЕНТ.
Значімість впліву факторів и їх взаємодій на досліджуваній параметр встановлюється почерговім порівнянням їх дісперсій Із дісперсією помилки досліду по F - крітерію Фішера. Если при такому порівнянні дісперсій виявило, что розрахункове Значення F-крітерію для якого-небудь фактору больше его табличного значення, вибраному | при заданому Рівні значімості (звічайній дорівнює 0,05 або 0,01) i числах ступенів свободи І, что відповідають порівнюванім дісперсіям, Вплив такого фактору або взаємодії вважається суттєвім (значимість) i Враховується при Наступний вівченні процеса. Дісперсійній аналіз пріпускає Використання якісніх факторів (тоб таких, Яким НЕ можна поставити у відповідність числова шкалу и Які пріймають діскретні значення) так само, як у завданні на курсову роботу для АНАЛІЗУ впліву дня тижня (5 дискретних значень некількісного характером), тіжня місяц...
