кості плазмового травлення матеріалів, що відображено на малюнку 3.1.
Найбільша селективність процесу травлення спостерігається при високих рівнях потужності і тиску робочого газу. Зі збільшенням тиску швидкість травлення зростає, досягає максимуму, а потім зменшується, як показано на малюнку 3.2.
Рисунок 3.2.- Залежність швидкості ПХТ від тиску робочого газу
Крім того досліджувався вплив терміну зберігання пластин від задубліванія до травлення алюмінію. Для цього були використані пластини минулі ті ж операції фотолітографії в тих же режимах що і в попередньому експерименті, але з різним терміном зберігання від 0,5 до 10:00. Після травлення проводився контроль лінійних розмірів елементів і контроль дефектності. Графік залежності дефектності кристалів від терміну зберігання пластин представлений на малюнку 3.3.
Малюнок 3.3-Графік залежності дефектності кристала від терміну зберігання пластин.
Графік показує, що найменша кількість дефектності кристалів спостерігається на свежезадубленних пластинах і використаних в плині часу 6:00. Допускається менше двох дефектних модулів на діаметрі. При травленні пластин терміном зберігання більше шести годин спостерігається значне збільшення кількості вириваючи і обривів металізації, що пов'язано з частковою втратою адгезії фоторезиста. Таким чином, оптимальним терміном зберігання пластин від задубліванія до травлення слід вважати 6:00. Термін зберігання понад 6:00 є неприпустимим. У цьому випадку на контрольній пластині слід провести контрольний процес. У разі негативного результату треба віддати на реставрацію. У разі позитивного - провести травлення всієї партії.
4. Техніко-економічне обгрунтування дипломного проекту
Республіка Білорусь у своїй соціально-економічній політиці на майбутнє п'ятиріччя виходить з наступності цілей і пріоритетів, які були сформульовані і реалізовувалися в попередні роки. Національна модель соціально орієнтованої економіки добре зарекомендувала себе протягом останніх 15 років і в основному буде збережена в перспективі.
Разом з тим для динамічного розвитку потрібно більш активне вдосконалення і модернізація діючих організаційно-економічних механізмів, економічних інститутів та економічної політики, які дозволять підвищити ефективність, стійкість і конкурентоспроможність існуючої моделі розвитку Республіки Білорусь.
Основні напрямки вдосконалення передбачають формування національної інноваційної системи; створення сприятливих умов для розвитку підприємницької ініціативи та збільшення притоку інвестицій в економіку; розвиток державно-приватного партнерства з метою забезпечення стійкості державної фінансової системи; розширення самостійності та відповідальності регіональних і місцевих органів управління у вирішенні соціально-економічних проблем.
Головна мета - зростання добробуту і поліпшення умов життя населення на основі вдосконалення соціально-економічних відносин, інноваційного розвитку та підвищення конкурентоспроможності національної економіки.
Її реалізація передбачає підвищення реальних наявних грошових доходів населення в 2015 році до рівня 2010 року в 1,7 - 1,76 рази на основі забезпечення зростання ВВП - в 1,62 - 1,68 рази, продуктивності праці - в 1,63 - 1,68 рази, обсягів промислового виробництва - в 1,54 - 1,6 рази, сільського господарства - в 1,39 - 1,45 рази, питомої ваги відвантаженої інноваційної продукції організаціями, основним видом діяльності яких є виробництво промислової продукції, у загальному обсязі відвантаженої продукції до 20 - 21 відсотка в 2015 році, інвестицій в основний капітал за п'ятиріччя - в 1,9 - 1,97 рази, основна частина яких буде спрямована на створення та модернізацію більш як одного мільйона робочих місць.
Реалізація поставленої мети буде досягнута на основі всебічного використання потенціалу сильної держави, концепція якого успішно втілюється в життя в нашій країні. Саме воно виступить гарантом захисту приватної власності, ініціатором і ефективним провідником прогресивних перетворень.
При цьому потрібно концентрація ресурсів на наступних пріоритетних напрямах соціально-економічного розвитку Республіки Білорусь на 2011 - 2015 роки.
Характеристика техпроцесу з виробництва вироби
У дипломному проекті пропонується оптимізація процесу плазмохімічного травлення.
У даному розділі дипломного проекту визначається порівняльна економічна ефективність базового варіанту проведення операції та проведеного експерименту з метою зниження повної собівартості.
Розробка будь-яких ІМС являє собою досить складний процес, що вимагає ви...
