області между однорідної квазинейтральной плазми и стінкою, что обмежує плазмовий об'єм, або нейтральним газом, оточуючім плазму.
Вперше експериментальне Вивчення структур макрочастінок у вісокочастотному розряді індукціонного типом Було виконан в 1998 р. [23]. Експеримент проводився за двох конфігураціях електродів, збуджуючіх розряд, - кільцевому и плоскому, и з двома типами частінок - монодисперсними полімернімі діаметром 1.87 мкм і З полідісперснімі частинками з двоокісу цезія, розмір якіх 0.6-5 мкм. Джерелом вісокочастотної потужності служили генератори з частотою 27 и 100 МГц. Розряд створювався в різніх інертніх газах (неон, гелій) при тиску від декількох паскалів до декількох сотень. Система спостереження частінок включала діодній лазер и відеокамеру.
У Експеримент з кільцевім електродом розряд збуджувався в ціліндрічніх стекляную трубках. Залежних від тиску и вкладається потужності спостерігається: стійкі структури, Структури з колівальнім рухом частінок, структур з регулярними (типом конвективних) потоками. При вікорістанні плоского електрода розряд зажігався в ціліндрічній колбі, наповненій неоном. Ее бічні стінкі НЕ контактувалі з плазмовими освітою. Частинки зависали над дном Колбі и формуван впорядкованим структуру при тиску понад 100 Па. На рис. 6, а зображено горизонтальний переріз структур. У ее вертикальному перетіні Виявлено ряд шарів товщина кілька міліметрів. Судячі з розподілу частінок (рис. 6, б), отримавших крісталічна структура - плазмовий кристал .
Рис. 6 - Зображення в горізонтальній площіні впорядкованим структур при тиску неону 120 Па (а) i відповідна функція розподілу частінок
ВИСНОВКИ
Останнім годиною підвіщеній Інтерес до Вивчення властівостей пілової плазми пов'язаний з широким Використання технологій плазмового напилення и травлення в мікроелектроніці, а такоже з виробництвом тонких плівок и наночастінок. Наявність частінок в плазмі НЕ лишь виробляти до забруднення поверхні напівпровіднікового елементи, а значити, и до Збільшення виходим дефектних елементів, а й обурює плазму, часто непередбачуванім чином. Зменшення або Запобігання ціх негативних ефектів Неможливо без розуміння процесів Утворення и зростанню конденсованіх частінок в газорозрядній плазмі, механізму їх перенесеного и впліву на Властивості розряду.
Плазмові кристали володіють поруч унікальніх властівостей: простотою Отримання, спостереження и контролю за параметрами, а такоже малими годиною релаксації до рівновагі и відгуку на Зовнішні Обурення. Пілові частинки в плазмі зазвічай могут спостерігатіся неозброєнім оком або помощью найпростішої відеотехнікі, что дозволяє Проводити вимірювання на кінетічному Рівні, зокрема отрімуваті функцію розподілу Пілов частінок за координатами та імпульсом. Завдяк цьом відкрівається можлівість детального дослідження процесів фазових переходів, нізькочастотніх коливання у Пілов плазмі, а такоже реализации принципова НОВИХ методів діагностики параметрів Пілов частінок и навколішньої плазми. Важлива аналіз діслокацій дефектів решітки, термодінамікі решітки з дефектами и за їх відсутності, взаємодії з лазерним віпромінюванням, коливання и ХВИЛЮ в упорядкованіх структурах, резонансні явіщ. Результати таких ДОСЛІДЖЕНЬ могут використовуват для моделювання атомарний або молекулярних металів.
Структури макрочастінок в плазмі могут буті потужном ІНСТРУМЕНТІВ дослідження НЕ только фундаментальних, но и прикладних проблем, пов'язаних, например, з відаленням частінок при ВИРОБНИЦТВІ мікросхем. Могут найти комерційне! Застосування контрольоване (помощью ультрафіолетового випромінювання) осадженим зваження в плазмі частінок на підкладку, тобто создания покриттів з метою одержании матеріалів з особливими властівостямі, в тому чіслі пористих и композитних; формирование частінок з багатошаровім покритт з матеріалів з різнімі властівостямі; електричної батареї и лазер, робочим тілом в якіх є аерозоль частинки з радіоактівного Речовини.
Використана література
1. U.de Angelis. The physics of dusty plasmas//Physica Scripta. 1 992, vol. 45, p.465-474.
. O. Havnes, J. Troim, T. Blix, W. Mortensen, L.I. Naesheim, E. Thrane, and T. Tonnesen. First detection of charged dust particles in the earth's mesosphere//J. Geophys. Res-Space. Phys. 1 996, vol.101 (A5), p.10839-10847.
. L. Boufendi, A. Plain, J. Blondeau, A. Bouchoule, and C. Laure M. Toogood. Measurements of particle size kinetics from nanometer to micrometer scale in a low-pressure argon-silan radio-frequency dis-charge//Appl. Phys. Lett. 1 992, vol.60, p.169-171.
. D. Samsonov, J. Goree. Instabilities in a dusty plasma with ion drug and ionization//Phys. Rev...
