генератора зображень CLWS-300 в умовах В«чистих приміщеньВ» дозволяє отримати практично бездефектне зображення. Тому для фотошаблона-оригіналу зазначена вимога виглядає таким чином: дефекти елементів топології не допускаються.
Вимоги по дефектах можуть ставитися до штрихів, цифрам, знакам, буквах і іншим елементам топології. Одним з елементів топології геодезичних лімбів є центріровочнимі окружність, дефектність якої, як правило, не нормується, але для робочих фотошаблонів вимоги по дефектності центріровочнимі окружності повинні бути визначені. Для робочого фотошаблона на центріровочнимі окружності допускаються розриви в кількості 4 шт. довжиною не більше 10 мкм і потовщення в кількості 4 шт. довжиною 5 мкм і шириною до 3 мкм, а для фотошаблона-оригіналу дефекти центріровочнимі окружності не допускаються. p align="justify"> Дефекти, обумовлені класом чистоти полірованої поверхні в робочій зоні шкали, можуть задаватися як у вигляді конкретного класу чистоти за ГОСТ 11141, так і у вигляді максимально допустимої кількості та розміру дефектів, при цьому дефекти розглядаються, як правило , незалежно від їх походження: дефекти скла або дефекти маскуючого покриття (темні точки). З цього випливає, що робочий фотошаблон не повинен бути джерелом дефектів (темних точок), так як полірована поверхня лімба дуже часто має власні дефекти і додаткова дефектність, одержувана від робочого фотошаблона, яку не можна усунути, призведе до значного збільшення кількості бракованих деталей. В результаті дефектність робочого фотошаблона буде визначатися не вимогою по дефектності лімба, а особливостями технологічного процесу зворотного фотолітографії, а точніше однієї з допоміжних операцій: усунення дефектів; яка полягає у видаленні хромових точок методом травлення. При усуненні темних хромових точок вони обводятся пензликом спеціальним захисним складом, після чого проводиться локальне травлення під мікроскопом. Для того щоб можна було обвести точку захисним складом необхідно, щоб точка знаходилася від елементів топології на відстані не ближче 30 мкм. Травленням можна усунути будь-яку кількість хромових точок, але значна їх кількість може призвести до неприпустимого збільшення трудомісткості виготовлення лімба. Слід враховувати, що темні хромові точки можуть утворюватися не тільки через дефекти фотошаблона. Звичайно, на робочому фотошаблон можуть бути дефекти, особливо у випадку робітника (темнопольного) фотошаблона геодезичного лімба, виготовленого способом зворотного фотолітографії, але їх допустиму кількість визначається технологом в залежності від трудомісткості виготовлення лімба і від інших факторів. У технічному завданні необхідно вказати кількість дефектів на робочому фотошаблон. У даному випадку, це 4 прозорих дефекту (проколу). Розміри дефектів на робочому фотошаблон мають діаметри від 1,5 мкм до 5 мкм. p align="justify"> Для светлопольного фотошаблона-оригіналу геодезичного лімба, за допомогою якого способом зв...
