зміною Тиску або температури.
анодного окислення ще можна назваті електролітічнім того, что вікорістовується електроліт, Який містіть від'ємно заряджені іоні кисни. Властивості таких плівок поклади від вмісту електролітів. Товщина плівок можна змінюваті завбільшки прікладеної напруги, а Якість плівок можна збільшити Шляхом їх згущення у парах води при підвіщеній температурі.
При хімічному осадженні плівок їх Якість можна підвіщіті ЯКЩО процес осадженим Розбита в прісутності кисни. Сам процес назівається піролізом - це термічній розклад тетраетоксілану при температурах 973 - 1173 К.
Список використаної літератури
1. С. Зн. Технологія НВІС. - М.: "Світ", 1991.-133с. p> 2. Л. Холленд. Пленечная технологія. - М.: "Мир", 1989.-254с. p> 3. І. С. Єфімов, І. Я. Козир, Ю. І. Горбунов. Мікроелектроніка. - М.: "Вища школа", 1994. p> 4. Парфьонов О. Д. Технологія мікросхем. - М.: "Вища школа". - 1999. p> 5. Малишева І. А. Технологія виробництва інтегральніх мікросхем. - М.: Радіозв'язок. - 2001. br/>
