тах (дів. [6]) ГЦК-фаза з параметром а = 0,441 нм, что спостерігалась у плівках товщина 4-60 нм, розглядається як нова Модифікація танталу. У плівках танталу, препарованіх Зі швідкістю конденсації менше 0,02 нм/с ГЦК-фаза з параметром а = 0,442 нм існує до товщин пріблізно 2 мкм, такоже віднесена до Нової модіфікації танталу и Ближче за ВСІ до оксиду TaO з параметром а = 0,442 - 0,444 нм
При врахуванні впліву Залишкова газів у випадка тугоплавких металів, Яким є тантал, звітність, враховуваті, что хімічно Активні Речовини характеризуються малою пружністю парів при високих температурах. Експеримент показавши, что Зменшення Тиску Залишкова газів (покращення вакууму) виробляти до зниженя Швидкості осадженим плівкі [6]. Нижчих представлені експериментальні дані про Вплив Швидкості конденсації на фазовий стан сформованому тонких плівок. p> У плівках танталу, отриманий при Швидкості конденсації менше, чем 0,01-0,02 нм/c на підкладках Із NaCl в залежності від Товщина и температурами спостерігається аморфна, ГЦК або ОЦК фази. Сформована при конденсації танталу ГЦК-фаза з параметром решітки а = 0,445 нм близьким до оксиду TaO. br/>
РОЗДІЛ 3. Розрахунок фазового переходу
.1 Теорія фазового розмірного ЕФЕКТ
звітність, здобудуть співідношення для критичної товщина d * та розрахуваті ее величину для фазового переходу для Та:
(111) ГЦК (2) В® (100) ОЦК (1)
Зміна умови фазової рiвновагі в плівках та Частинку малих Розмірів может обумовіті змiщення температури фазового переходу (вісокотемпературнi фази в масивною зразки стають нізькотемпературнімі в зразки малих розмiрiв) або Виникнення таких полiморфніх фаз, якi в масивною зразки взагалi НЕ Iснують. Стислий розглянемо термодінамiчну теорiя фазового розмiрного ЕФЕКТ. p> Если в масивною крісталi стiйкою є фаза 2, а нерiвноважною - фаза 2 (тоб F01
(3.1)
де V - об'єм зразки.
Це спiввiдношення запісується простiше, ЯКЩО розглядаті монокрісталiчнi зразки. Для плiвкі,, для МЧ сферічної формува. З урахуванням цього нерiвнiсть (3.1) перепишеться так:
;
(3.2)
ВРАХОВУЮЧИ, что об'єм, Який припадати на один атом (V), при фазовому переходi змiнюється на DV величину, то для того, щоб у зразки малого розмiру термодінамiчно стiйкою булу фаза 2, необхiдно помiняті знак нерiвностi:
(3.1 ')
Можлива така ситуацiя: спiввiдношення мiж s1 та s2 буде таким, что поряд з нерiвнiстю буде Виконувати нерiвнiсть (3.1 ') Завдяк умовi. Тодi буде iснуваті така критична товщина (або критичний радiус), при якiй двi фази будут в рiвновазi:
або
Гћ. (3.3)
При Товщина (радiусах), менших критичної, буде стiйкою фаза 2, а при бiльшіх - фаза 1, тоб при досягненнi критичного розмiру вiдбувається фазові перехiд 2 В® 1. Пi...
