вакуумною системою, яке здійснюється за допомогою приборів, розташованих в стійці управління. Контроль за температурою підкладки і вимір вакууму в камері здійснюється за допомогою мілівольтметри постійного струму з хромель-алюмелеві температурою і вакуумметра
При нанесенні тонких плівок найчастіше застосовуються нагрівачі з вольфраму, молібдену і танталу. За конструктивними ознаками резистивні випарники поділяють на дротяні, стрічкові і тигельні. p align="justify"> Тигельні випарники застосовуються для випаровування великих кількостей речовини. Вони виготовляються з міді або тугоплавких металів (вольфраму, молібдену, танталу), з оксидів і нітридів металів (Al 2 O 3 , BeO, ZrO 2 , ThO 2 , BN та інші) і графіту. Для випаровування матеріалів з низькою температурою випаровування можна використовувати тиглі зі скла і кварцу. Тиглі з окису алюмінію використовуються для металів, температура випаровування яких лежить нижче 1600 0 С (Cu, Mn, Fe, Sn), тиглі з окису берилію можуть бути використані до температури 1750 0 С, з окису торію - до 2200 0 С. При випаровуванні матеріалів при температурах, близьких до 2500 0 С, використовуються тиглі з графіту, який досить технологічний і добре піддається механічній обробці. (Наприклад, Al, Si, Ti).
Для забезпечення незалежного управління нагрівом випарників, а також температурою підкладки, на яку здійснюється нанесення тонкої металевої плівки, розроблено трьохканальному пристрій управління струмом. Пристрій призначається для регулювання температури потужних низьковольтних нагрівальних елементів. br/>
5. Призначення, основні конструктивні елементи робочої камери установки В«Ораторія-5В»
.1 Призначення
Установка В«Ораторія-5В» призначена для нанесення плівок алюмінію легованого кремнієм, на кремнієві пластини діаметром 76, 100 мм з планетарною системою обертання підкладок з попередніми іонно-хімічним травленням при виробництві виробів електронної промисловості.
Установка В«Ораторія-5В» може застосовуватися автономно і в складі лінії.
Установка забезпечує роботу при подачі в неї:
а) стисненого повітря під тиском 4 * 10 5 ... 5 * 10 5 Па;
б) холодної води (+15 В± 10...
