ри взаємодії якого з випаровуванням атомами і утворюється хімічна сполука. Найбільшого поширення набули реактивні методи нанесення наступних покриттів:
. Нітридів металів. Випаровування металу, як правило, здійснюється електронно-променевим (нагрівання і випаровування речовини здійснюється за рахунок дії на нього потоку електронів), лазерним (джерелом енергії є монохроматичне електромагнітне випромінювання) або електродуговим (генерація газової фази відбувається в результаті горіння електричної дуги і виділення при цьому теплоти) способами. У робочу камеру запускається азот, який у зоні випаровування дисоціює, адсорбується на поверхні підкладки і вступає у взаємодію з металом, наприклад, титаном:
В
Залежно від співвідношень потоків азоту і титану можливе утворення сполук змінного складу TiNx. Колір покриття при цьому може змінюватися від зеленого до жовтого. Процес утворення сполук протікає, в основному, на поверхні. В обсязі ймовірність хімічної взаємодії атомів металу і азоту низька. p>. Карбідів металів. Зокрема, даним методом одержують покриття з карбідів титану, цирконію, хрому, вольфраму. Карбіди утворюються при випаровуванні металів у середовищі вуглецевих газів (метану, ацетилену). p>. Оксидів металів. У цьому випадку випаровування металів проводять в середовищі кисню або парів води. p> Покриття, одержувані реактивними методами, мають досить високу твердість, адгезію. Для підвищення адгезійної міцності рекомендується наносити покриття на підкладки, нагріті до температури 400 .. 600 0С. У машинобудуванні для зміцнення різального інструменту наносять покриття нітриду і карбідів металів товщиною до 10 .. 12 мкм. Часто іспользуютсямногослойние покриття, що наносяться, як правило, за один технологічний цикл. Це досягається, наприклад, шляхом зміни складу газового середовища. p> Метод КІБ є різновидом реактивних методів нанесення покриттів складного складу. Освіта газової фази металу здійснюється електродуговим випаровуванням. Даним методом отримують покриття нітридів (осадження атомів металу проводиться у присутності активного газу: азоту або аміаку), карбідів (активний газ - ацетилен, метан), оксидів (активний газ - кисень) титану, цирконію, хрому та інших металів. p> Відзначимо наступні основні переваги методу КІБ:
1. Універсальність, можливість нанесення покриттів з сполук різної природи і регулювання при цьому в широких межах стехіометрією сполук шляхом зміни струму дуги, тиску реакційного газу і температури поверхні.
2. Високі швидкість нанесення і адгезія покриттів.
. Висока технологічність процесу. Поєднання в єдиному технологічному циклі стадій очищення, нагрівання поверхні до робочої температури (200 .. 600 0С) зі стадією нанесення функціонального покриття без використання при цьому окремим технологічного оснащенн...
