stify"> = 10-12 А; ем = 20-60 мА.
053 - Нанесення оптичного покриття YF 3
Режими нанесення плівки:
ІЕ Р = 10 -3 Па;
Т ісп = 1136 В° < span align = "justify"> С;
Т під = 150 В° < span align = "justify"> С;
U = 6кВ;
I н = 10-12 А; ем = 20-60 мА.
054 - Нанесення оптичного покриття CaF 2 .
Режими нанесення плівки:
ІЕ Р = 10 -3 Па;
Т ісп. = 1360 В° С;
Т під = 150 В° < span align = "justify"> З
U = 6кВ;
I н = 10-12 А;
I ем = 20-60 мА.
060 - Розгерметизація вакуумної камери: після закінчення процесу нанесення вимикається обертання подложкодержателя. При зниженні Т підлий до 50єС камера відсікається високовакуумної затвором від високовакуумної системи відкачування, проводиться напуск повітря, відкривається вакуумна камера і проводиться вивантаження оптичних деталей в спеціальну касету.
070 - Контроль. У зв'язку з проведенням групового технологічного процесу нанесення покриттів на контроль потрапляють від 2 до 3 штук з партії, перевіряють параметри r l = f ( l ), t l = f ( l ) на фотометрі СФ-8 або СФ-4 і порівнюють отримані характеристики з розрахунковими. Визначають...
